研究目的
研究具有强等离子体与发光特性的纳米二元硅金体系的湿法非热集成。
研究成果
所开发的金-硅核壳结构纳米胶囊合成工艺实现了金与硅在纳米尺度的复合，同时展现出等离子体共振效应和光谱红色波段的可见光发光特性。这些结构可广泛应用于光学滤波器、传感检测及癌症治疗等多个领域。
研究不足
该研究聚焦于硅-金纳米体系的合成与表征，但未深入探讨该方法的实际应用及可扩展性。
1：实验设计与方法选择
采用化学湿法环境中的电荷交换/注入程序，而非基于热效应的气固程序。
2：样品选择与数据来源
使用电阻率为4-8欧姆·厘米的器件级掺硼<100>单晶硅片。
3：实验设备与材料清单
扫描电镜(SEM)、透射电镜(TEM)、能谱仪(EDX)、X射线光电子能谱(XPS)、俄歇电子能谱(AES)、光致发光光谱仪、荧光显微镜、氢氟酸(HF)、过氧化氢(H2O2)、异丙醇。
4：实验流程与操作步骤
通过HF前驱体中水合盐HAuCl4生成的Au3+离子进行电荷交换还原/中和，在单晶硅片上沉积金，继而采用H2O2诱导电荷生成/注入及刻蚀。利用异丙醇超声处理从刻蚀硅片回收纳米结构。
5：数据分析方法
采用SEM、TEM、EDX、XPS、AES进行材料分析，通过光致发光光谱仪和荧光显微镜表征光学特性。
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获取完整内容-
SEM
Imaging the topography of the structures
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TEM
Imaging the topography of the structures
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EDX
Analyzing the composition of the nano structures
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XPS
Measuring gold atomic concentration
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AES
Material analysis with depth
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photoluminescence spectroscopy
Characterizing the optical properties
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fluorescence microscopy
Characterizing the optical properties
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