研究目的
研究影响多焦点切割蓝宝石质量的因素以及多焦点激光束在蓝宝石块体中的行为。
研究成果
采用激光多焦点分离法以4毫米/秒的速度切割了2毫米厚的蓝宝石，切割截面粗糙度约为2.5微米，为加工高折射率块体材料提供了一种有效途径。
研究不足
由空气/蓝宝石折射率失配引起的界面球差被确定为限制高折射率材料切割厚度的最重要因素。
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通过球差校正实现厚蓝宝石的激光多焦点精密切割
DOI：10.1016/j.optlaseng.2019.105876
期刊：Optics and Lasers in Engineering
出版年份：2020
更新时间：2025-09-19 17:13:59
摘要：
激光多焦点分离技术是切割厚、透明且坚硬材料的有效方法。本文研究了影响蓝宝石多焦点切割质量的因素?；谑笛榻峁辛斯庋Ｄ夥治觯蕴骄慷嘟沟慵す馐涌掌肜侗κ拇ス?。结果表明，焦点间隔与折射率呈线性关系。由于折射率失配产生的球差会使激光焦点分散，导致激光功率密度降低，这对切割质量有显著影响。该球差强烈依赖于材料的折射率和有效数值孔径（NA）。通过重新设计多个焦点的分布来校正球差，成功以4毫米/秒的扫描速度切割了厚度为2毫米的蓝宝石。切割截面的粗糙度约为2.5微米，且未观察到明显的微裂纹。
作者：
Rui Ma，Lingfei Ji，Tianyang Yan
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