研究目的
研究紫外纳秒激光刻槽过程中激光功率、扫描速度、脉冲重复频率和扫描次数对玻璃表面形貌的影响。
研究成果
该研究成功证明了使用紫外纳秒激光在钠钙玻璃上刻槽的可行性，确定了无裂纹沟槽形成的最佳条件，并提出了其在生物芯片通道制造中的潜在应用。
研究不足
本研究仅限于钠钙玻璃和特定激光参数，未探讨其他类型玻璃或激光波长的影响。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用紫外纳秒激光在钠钙玻璃上加工沟槽，通过改变激光功率、扫描速度、脉冲重复频率和扫描次数进行参数调控。
2：样品选择与数据来源：
使用厚度约1.1毫米的钠钙玻璃。
3：1毫米的钠钙玻璃。 实验设备与材料清单：
3. 实验设备与材料清单：紫外（355纳米）Nd:YVO4激光器、扫描振镜模块、数字式激光功率计、光学显微镜、场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）。
4：实验流程与操作步骤：
在不同参数条件下进行单次及多次激光扫描，研究沟槽形成规律。
5：数据分析方法：
采用光学显微镜和FE-SEM分析表面形貌，并测量沟槽尺寸。
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