研究目的
研究沉积后催化掺杂（cat-doping）对用于硅异质结太阳能电池的各种掺杂硅合金的有效性。
研究成果
磷猫掺杂被应用于三种不同的硅合金。结果表明，磷原子被掺入到μc-Si:H(n)、nc-SiOx:H(n)和μc-SiC:H(n)中，但在掺杂深度和导电性方面具有不同的显著性。对于无法通过其他方式改进的高效SHJ电池界面性能调节，猫掺杂可能变得更加重要。
研究不足
猫掺杂的有效性与材料微观结构之间的关联尚不明确?；钚杂敕腔钚悦ú粼覲原子比例的测定仍在研究中。
1：实验设计与方法选择：
本研究采用二次离子质谱法（SIMS）探究沉积后催化掺杂（cat-doping）对不同掺杂硅合金的效果，以揭示磷（P）在这三种硅合金薄膜中的分布差异。
2：样本选择与数据来源：
使用微晶硅（μc-Si:H）、纳米晶氧化硅（nc-SiOx:H）和微晶碳化硅（μc-SiC:H）样品。
3：实验设备与材料清单：
二次离子质谱仪（SIMS）、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）系统、热丝化学气相沉积（HWCVD）系统。
4：实验步骤与操作流程：
在硅合金样品表面两侧进行磷催化掺杂处理，并测量所有样品掺杂前后的有效少子寿命。
5：数据分析方法：
通过电导率测量评估催化掺杂对硅合金薄膜电学性能的影响。
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获取完整内容-
Secondary ion mass spectrometry
ToF SIMS
Measuring P atoms concentration profiles
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Plasma-enhanced chemical vapor deposition
PECVD
Depositing μc-Si:H(n) and nc-SiOx:H(n) films
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Hot-wire chemical vapor deposition
HWCVD
Depositing μc-SiC:H(n) films and performing cat-doping process
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Sinton WTC-120 Photoconductance Lifetime Tester
WTC-120
Sinton
Measuring minority carrier lifetimes
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