研究目的
利用飞秒激光脉冲在聚合物衍生SiAlCN陶瓷上制备沟槽，探究扫描速度与能量密度对沟槽质量的影响。
研究成果
使用不同激光能量和扫描速度的飞秒激光脉冲，成功在SiAlCN陶瓷表面制备了一系列宽度为30–80微米、深度低于280微米的沟槽。能量密度和扫描速度对沟槽表面质量具有显著影响。该研究为PDCs的激光加工奠定了基础，有助于不同PDC基器件的制备及其表面改性。
研究不足
该研究仅限于使用飞秒激光脉冲在SiAlCN陶瓷上制备沟槽，重点关注扫描速度和能量通量的影响。研究发现存在热影响区的形成以及激光诱导周期性表面结构的消失，这些方面需要进一步优化。
1：实验设计与方法选择：
采用飞秒激光脉冲在PDCs（特别是掺铝SiCN（SiAlCNs）陶瓷）表面制备沟槽。
2：样品选择与数据来源：
使用市售聚硅氮烷和异丙醇铝制备SiAlCN前驱体。
3：实验设备与材料清单：
四轴超快激光微加工平台，飞秒激光脉冲由再生放大掺镱固态超快激光系统产生。
4：实验步骤与操作流程：
在空气环境中以不同扫描速度和激光能量进行激光加工。
5：数据分析方法：
使用SEM表征样品表面和截面形貌。
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获取完整内容-
femtosecond laser
LMM-50
Xi'an MicroMach Technology Co., Ltd.
Used for laser processing to fabricate grooves on the surface of PDCs.
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polysilazane
Ceraset
Kion
Used as a precursor for the fabrication of SiAlCN ceramics.
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aluminum isopropoxide
ACROS ORGANICS, ThermoFisher
Used in the mixture for the fabrication of SiAlCN ceramics.
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dicumyl peroxide
Added to accelerate the cross-linking in the fabrication process of SiAlCN ceramics.
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low-speed diamond saw
SYJ-150
MTI Corporation
Used to cut discs from the fabricated polymer rods.
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tube furnace
GXL-1100X
MTI Corporation
Used for the pyrolysis of the discs to obtain SiAlCN ceramic wafers.
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