研究目的
研究并优化采用工业在线PECVD设备制备的背面SiOx/n+:多晶硅钝化接触的n型双面太阳能电池,以实现大规模生产。
研究成果
采用原位等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工艺制备的、由SiOx/n+:多晶硅叠层构成背面钝化接触的大面积双面硅太阳能电池表现出卓越性能,最佳电池效率达到23.05%。该研究凸显了其通过简易工艺流程实现大规模量产的潜力。
研究不足
该研究承认,在将这种电池技术整合到包含高温工艺步骤的工业化规模流程方面存在知识空白。首次研究中填充因子限制在<80%,归因于烧结条件未优化。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用n型Cz-Si硅片制备具有背面钝化接触的双面太阳能电池。界面SiOx层和n+:多晶硅层通过在线PECVD设备沉积。
2:样品选择与数据来源:
使用'M2'型244.3 cm2 n型Cz-Si硅片。
3:3 cm2 n型Cz-Si硅片。
实验设备与材料清单:
3. 实验设备与材料清单:在线PECVD设备(定制MAiA系统,梅耶博格)、商用烧穿型金属浆料、KOH溶液、HF酸等。
4:实验流程与操作步骤:
包括锯痕腐蚀、碱制绒、RCA清洗、硼扩散、SiOx与n+:非晶硅层沉积、退火、钝化、丝网印刷及共烧结。
5:数据分析方法:
进行透射电子显微镜(TEM)与能量色散谱(EDS)面扫描及线扫描,并开展全区域I-V测试。
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