研究目的
研究在氙离子辐照下带有TCO减反射膜的异质结太阳能电池结构的辐射硬度。
研究成果
研究表明，氙离子辐照会影响带有透明导电氧化物（TCO）减反射膜的异质结太阳能电池结构的电学性能，阻抗谱的变化证实了这一点。该发现为这类结构的抗辐射能力提供了见解，这对于太空及其他强辐射环境中的应用至关重要。
研究不足
该研究仅限于Xe离子辐照对具有特定TCO减反射膜的异质结太阳能电池结构的影响。研究结果可能不直接适用于其他类型的辐射或太阳能电池结构。
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具有TCO减反射膜的异质结太阳能电池结构的抗辐射性能研究
DOI：10.1088/1742-6596/1319/1/012016
期刊：Journal of Physics: Conference Series
出版年份：2019
更新时间：2025-09-19 17:13:59
摘要：
采用PECVD技术，以硅烷(SiH4)、甲烷(CH4)、氢气(H2)和磷化氢(PH3，2 vol.%溶于H2)为前驱体气体，在不同沉积条件下于p型Si(100)晶圆上制备了作为异质结结构发射极的磷掺杂碳化硅薄膜。随后通过射频磁控溅射在不同磷掺杂非晶碳化硅氢(a-SiC:H(n))薄膜表面沉积ITO或IZO透明导电氧化物薄膜。在室温下对样品结构进行总注量5×1011 cm?2的Xe离子辐照。研究了磷浓度及透明导电氧化物类型的影响。通过分析复阻抗谱，深入探究了辐照对样品电物理特性的影响机制。
作者：
J Huran，P Bohá?ek，M Perny，M Mikolá?ek，V A Skuratov，A P Kobzev，V ?ály，J Arbet
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