研究目的
利用尺寸选择的纳米团簇和离子诱导的波纹图案作为基底，在室温下将尺寸可控的铜纳米颗粒有序排列成阵列。
研究成果
利用离子诱导纳米波纹模板，已实现在室温下对尺寸筛选的团簇进行有序排列。研究发现，团簇在图案化硅基底上的排列质量取决于波纹本身的有序程度。该阵列中纳米粒子的尺寸与数密度可独立调控，这一特性可用于研究尺寸筛选金属粒子阵列中的最近邻相互作用，为未来诸多应用提供可能。
研究不足
所获得的纳米粒子阵列的排序质量取决于特定沉积角度下的图案参数。研究发现，在15°沉积角度下获得了更好的排序效果，但由于纳米级及更大尺度区域的图案不均匀性，基底各区域的排序质量并非均匀一致地高。
1：实验设计与方法选择：
本研究通过周期性调制基底表面实现尺寸选择纳米颗粒的定向沉积。采用与超高真空兼容的磁控溅射气体聚集型源结合四极质谱过滤器制备尺寸选择纳米团簇，并通过低能斜入射离子束辐照诱导纳米级表面调制（波纹）。
2：样品选择与数据来源：
以Si(100)表面作为基底，使用能量为500 eV的Ar离子在相对于表面平面25°的入射角下进行离子束辐照。
3：实验设备与材料清单：
磁控溅射气体聚集型源、四极质谱过滤器、高分辨扫描电子显微镜（HRSEM）、原子力显微镜（AFM）、X射线光电子能谱（XPS）。
4：实验步骤与操作流程：
在相对于基底平面三个不同沉积角度（45°、15°和5°）下进行沉积，通过HRSEM和AFM表征沉积纳米团簇及基底的形貌特征，并通过XPS分析化学成分。
5：5°、15°和5°）下进行沉积，通过HRSEM和AFM表征沉积纳米团簇及基底的形貌特征，并通过XPS分析化学成分。 数据分析方法：
5. 数据分析方法：基于沉积条件观察并分析尺寸选择金属纳米团簇沿基底图案的排列情况。
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