研究目的
通过将蓝色微LED阵列与CIS量子点集成，实现高性能白光LED，应用于微显示、生物仪器和可见光通信领域。
研究成果
混合白光微LED展现出优异的电学性能和高质量的白色发光，其色坐标为(0.3303, 0.3501)，色温为5596 K，表明其在照明和显示领域具有高性能应用的潜力。
研究不足
该研究未涉及混合白光微LED在连续工作状态下的长期稳定性及退化机制。
1：实验设计与方法选择：
本研究通过将蓝色微LED阵列与CIS量子点集成，制备了混合白光微LED。
2：样品选择与数据来源：
采用金属有机化学气相沉积（MOCVD）在c面蓝宝石衬底上生长的平面LED晶圆，制备具有微米柱结构的蓝色微LED阵列。
3：实验设备与材料清单：
金属有机化学气相沉积（MOCVD）、感应耦合等离子体（ICP）刻蚀、等离子体增强化学气相沉积（PECVD）、电子束蒸发、CIS量子点。
4：实验步骤与操作流程：
通过光刻和ICP刻蚀形成微米柱阵列结构，沉积SiO2钝化层，制备N型和P型电极，旋涂量子点并蒸发溶剂。
5：数据分析方法：
电学与光学表征，包括I-V特性、EL和PL光谱分析。
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获取完整内容-
MOCVD
Used for growing planar LED wafers on c-plane sapphire substrates.
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ICP etching
Used for forming micron-pillar array structures.
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PECVD
Used for developing a SiO2 layer as a passivation layer.
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Electron beam evaporation
Used for fabricating N-type and P-type Cr/Au electrodes.
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CIS quantum dots
580 nm CIS ((CuInS2-ZnS)/ZnS) core/shell
Integrated with blue micro-LEDs for white light emission.
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