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用于微显示器和微型LED主显示屏的亚微米全彩LED像素

DOI：10.1002/jsid.899 期刊：Journal of the Society for Information Display 出版年份：2020 更新时间：2025-09-23 15:19:57
摘要： 我们展示了一种自下而上的方法，用于构建横向尺寸小至150纳米的微型LED。通过分子束外延（MBE）技术，使用氮化铟镓（InGaN）材料制备出从蓝光到红光光谱范围的纳米结构LED，为整个RGB显示器提供单一材料体系。
作者： Yuanpeng Wu，Xianhe Liu，Yong-Ho Ra，Renjie Wang，Seth Coe-Sullivan，Yakshita Malhotra，Matthew Stevenson，Yi Sun，Zetian Mi
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研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

采用分子束外延（MBE）技术，通过自下而上的方法构建横向尺寸小至150纳米的微型LED，利用InGaN材料制备纳米结构LED，应用于全彩显示领域。

研究成果

该研究通过选择性生长工艺，在单芯片上一步制备出多色单纳米线发光二极管。这些纳米级LED具有多重优势：显著提升的光提取效率、可控的辐射锥角、可调谐的可见光发射以及高效的电流传导性能。这对微型LED显示器意义重大——它能提供高效能LED，尺寸可小至100纳米，单一材料体系即可覆盖全可见光谱，且整个工艺能在单晶圆上通过一步流程完成。

研究不足

实验的技术和应用限制包括：使用基于氮化镓（GaN）的技术实现高效绿光和红光LED的挑战，以及在整个晶圆上改变量子阱中铟（In）组分以实现单一衬底多色发光的困难。

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