研究目的
探究氧浓度对溅射MoOx薄膜性能的影响及其作为CdTe太阳能电池背接触层的应用。
研究成果
研究表明，具有不同氧含量的溅射MoOx薄膜可作为CdTe太阳能电池的背接触缓冲层。电池性能受CdTe表面氧化、较大的价带偏移以及功函数不足的影响。通过优化背接触层，将电池效率提升至11.8%。
研究不足
溅射的MoOx功函数不足以引起CdTe能带向上弯曲，且MoOx/CdTe界面处TeO2的形成会恶化器件性能。
1：实验设计与方法选择：
采用反应射频磁控溅射技术在不同的氧浓度下制备MoOx薄膜。对薄膜的化学计量比、缺陷态、功函数以及电学和光学特性进行了表征。
2：样品选择与数据来源：
薄膜在室温下沉积于钠钙玻璃衬底上。
3：实验设备与材料清单：
X射线光电子能谱仪（XPS，英国Kratos公司Axis Supra）、开尔文探针力显微镜（KPFM，布鲁克Multimode 8）、日立S-5200扫描电子显微镜（SEM）、四探针法（RTS-8）用于测量方阻和电阻率、紫外-可见-近红外光栅分光光度计（珀金埃尔默Lambda 950）用于光学透射光谱。
4：8）、日立S-5200扫描电子显微镜（SEM）、四探针法（RTS-8）用于测量方阻和电阻率、紫外-可见-近红外光栅分光光度计（珀金埃尔默Lambda 950）用于光学透射光谱。 实验步骤与操作流程：
4. 实验步骤与操作流程：抽真空后，在不同氧流量下沉积薄膜，随后使用上述设备进行表征。
5：数据分析方法：
利用XPS数据分析核心能级结合能谱、氧化态及化学计量比；采用KPFM测量功函数。
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获取完整内容-
XPS
Axis Supra
Kratos
Analyze the core level binding energies spectra, oxidation states, composition stoichiometry of the sputtered MoOx films.
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Kelvin probe force microscopy
Multimode 8
Bruker
Measure the work functions of MoOx films.
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SEM
S-5200
Hitachi
Obtain scanning electron micrographs.
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UV–Vis–NIR grating spectrophotometer
Lambda 950
PerkinElmer
Measure optical transmission spectra.
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Four probe method
RTS-8
Guangzhou four probe technology co. LTD
Measure sheet resistance and resistivity of MoOx films.
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