研究目的
通过化学气相沉积法研究单层和双层MoS2薄片的可控生长及其在高灵敏度光电探测器中的应用。
研究成果
通过控制溶液前驱体成功合成了表面洁净的单层和双层MoS2薄片,并探索了其在光电探测器中的应用?;贛oS2薄片的光电探测器在空气中表现出优异性能,包括7160 A W?1的响应度、2.44×1011琼斯的最大探测率值以及97毫秒/291毫秒的快速响应/恢复时间。
研究不足
该研究聚焦于单层和双层MoS2薄片的可控生长及其在光电探测器中的应用。局限性包括合成所需的特定条件,以及仅针对MoS2的研究可能无法在不进一步探索的情况下直接适用于其他过渡金属二硫化物(TMDs)。
1:实验设计与方法选择:
采用化学气相沉积(CVD)法,以溶液前驱体合成了单层和双层MoS2薄片。
2:样品选择与数据来源:
MoS2薄片直接在SiO2/Si衬底上合成。
3:实验设备与材料清单:
光学显微镜(OLIMPUS,BX51M-N53MF2)、原子力显微镜(AFM,Bruker Multimodel-8)、高分辨率LCM系统、K-Alpha XPS系统、半导体分析仪(Keithley 4200-SCS)。
4:2)、原子力显微镜(AFM,Bruker Multimodel-8)、高分辨率LCM系统、K-Alpha XPS系统、半导体分析仪(Keithley 4200-SCS)。 实验步骤与操作流程:
4. 实验步骤与操作流程:沉积前,将衬底在90°C的H2O2和H2SO4中蚀刻50分钟。炉管抽真空后充入氩气。衬底温度加热至750°C,同时氩气流速增至100 SCCM。
5:数据分析方法:
通过AFM和高分辨率LCM系统表征薄片厚度。测量XPS光谱以确认化学成分及价态。
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Optical microscopy
BX51M-N53MF2
OLIMPUS
Measure the microstructure characterization of MoS2 flakes.
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Atomic force microscope
Multimodel-8
Bruker
Test the cross sectional view and surface morphology of MoS2 flakes.
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Semiconductor analyzer
4200-SCS
Keithley
Test the optoelectronic characteristics of the MoS2 flakes.
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X-ray photoelectron spectroscopy system
K-Alpha
Measure the XPS spectra of MoS2 flakes.
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