研究目的
研究聚苯乙烯作为介电材料在设计基于窄带红外超表面的吸收器方面的适用性。
研究成果
聚苯乙烯是一种适用于窄带长波红外吸收器的低损耗介电材料，具有高吸收率和窄带宽特性。该研究为基于聚苯乙烯的超表面吸收器进一步研究奠定了基础。
研究不足
该研究聚焦于聚苯乙烯的特性及其在窄带吸收体中的应用，但未探索其他潜在电介质材料或更宽的光谱范围。
1：实验设计与方法选择：
本研究通过光谱椭偏仪表征聚苯乙烯薄膜的加工参数并测量其介电性能。
2：样品选择与数据来源：
将聚苯乙烯薄膜旋涂于3英寸晶圆上形成薄膜，使用轮廓仪测量厚度和粗糙度。
3：实验设备与材料清单：
设备包括TENCOR alphastep 200轮廓仪和WVASE MARK II可变角光谱椭偏仪；材料包含陶氏化学的聚苯乙烯颗粒和甲苯。
4：实验流程与操作步骤：
将聚苯乙烯薄膜旋涂于晶圆上，经烘烤后测定其厚度、粗糙度及介电性能。
5：数据分析方法：
采用谐振子模型从椭偏仪数据计算介电函数的实部与虚部。
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WVASE MARK II variable angle spectroscopic ellipsometer
MARK II
WVASE
Measuring the complex dielectric constant of materials
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Hyperion 3000 FT-IR microscope
3000
Bruker
Characterizing the IR absorber prototype
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TENCOR alphastep 200 profilometer
alphastep 200
TENCOR
Measuring film thickness and surface roughness
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