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过渡金属催化的薄层类金刚石碳(DLC)薄膜石墨化动力学

DOI:10.1016/j.diamond.2018.10.025 期刊:Diamond and Related Materials 出版年份:2018 更新时间:2025-09-23 15:21:01
摘要: 本文研究了涂覆微量镍金属颗粒的类金刚石碳(DLC)薄膜在773K下的石墨化动力学。采用脉冲激光沉积(PLD)技术在室温下将DLC薄膜沉积于透明石英基底上,并通过分子束外延技术在室温下将镍沉积于DLC表面。研究了沉积薄膜在超高真空热处理(573-873K范围,60分钟退火)和动力学行为(773K下30-3760分钟范围)。表面与界面表征表明,石墨化sp2团簇的生长始于低于573K的温度。在773K下记录了石墨化的动力学过程,因此石墨团簇的持续生长导致了长程动力学效应。这些团簇使电导率和载流子迁移率分别提升至6.103西门子/厘米和20 V/cm2·s。这种持续变化不仅源于石墨团簇的成核与生长,还与其沿表面及石英基底的重取向有关。结果表明,经热后处理的催化金属/DLC薄膜是导电电极和传感应用领域极具前景的材料。
作者: N. Boubiche,J. El Hamouchi,J. Hulik,M. Abdesslam,C. Speisser,F. Djeffal,F. Le Normand
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研究概述 实验方案 设备清单

研究镀有镍金属颗粒的类金刚石碳(DLC)薄膜在773K下的石墨化动力学,用于导电电极和传感应用。

研究表明,经过热后处理的催化金属/类金刚石碳薄膜具有高电导率和载流子迁移率,使其成为导电电极和传感应用领域极具前景的材料。石墨团簇的持续生长与重取向是形成这些优异性能的关键因素。

该研究仅限于773K下的石墨化动力学,未探究更高温度或不同催化金属的情况。对于完整理解石墨团簇生长与重取向的远程动力学,可能需要进一步研究。

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