研究目的
研究采用脉冲激光沉积法在三维表面基底上制备的类金刚石碳膜的光学特性。
研究成果
三维运动装置成功在大曲面上沉积了均匀的类金刚石薄膜，在中红外波段的平均透射率偏差低于2.3%。该研究表明脉冲激光沉积技术在光学应用方面具有潜力。
研究不足
厚度分布的理论模型基于理想条件，未考虑衍射粒子、空间误差以及三维运动中的控制误差。
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脉冲激光沉积法在三维表面基底上制备类金刚石碳膜的光学特性
DOI：10.1080/02670844.2020.1759017
期刊：Surface Engineering
出版年份：2020
更新时间：2025-09-23 15:21:01
摘要：
采用脉冲激光沉积法难以生长均匀薄膜，因为激光诱导羽辉的空间分布呈前向锥形。研究团队建立了三维运动沉积装置，并推导出三维曲面上薄膜厚度的关联数学模型。基于模拟与优化，在大尺寸曲面硅基底上成功制备了类金刚石碳（DLC）薄膜。红外透射光谱显示，曲面基底不同区域的DLC薄膜样品光学常数相近，表明曲面制备的DLC薄膜具有均匀性。同时其中红外波段平均透射率偏差低于2.3%，可提升红外探测成像性能。该研究有助于拓展脉冲激光沉积技术在光学领域的应用。
作者：
Yimin Lu，Guojun Huang，Sai Wang，Lin Xi，Chaowei Mi，Shuyun Wang，Yong Cheng
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