研究目的
通过结合磁场依赖的电输运测量与多载流子拟合(MCF)分析,精确测定窄带隙p型InAsSb中的体载流子浓度,从而提取出不同载流子种类的特性。
研究成果
该研究通过结合温度与磁场依赖性测量及多载流子拟合分析,成功表征了GaSb衬底上Be掺杂、晶格匹配的InAs0.91Sb0.09材料的输运特性。测得77K(300K)时的体空穴浓度和迁移率分别为1.6×101? cm?3(2.3×101? cm?3)和125 cm2 V?1 s?1(60 cm2 V?1 s?1)。表面处理实验将其中一种电子导电群体与表面相关联,变温测量则提取出了体空穴、界面载流子及表面电子的输运特性。
研究不足
该研究承认,在窄带隙InAsSb材料中准确测定空穴载流子浓度存在挑战,因为该材料表面及其与下方直接生长层之间的界面可能发生电子积累?;舳вΣ饬肯低车淖畲蟠懦∏慷染龆丝刹饬康淖畹颓ㄒ坡省?/p>
1:实验设计与方法选择:
本研究采用温度与磁场依赖的传输测量技术,结合多载流子拟合分析,对一系列生长在GaSb衬底上的p型掺杂InAs0.91Sb0.09样品进行研究。
2:91Sb09样品进行研究。
样品选择与数据来源:
2. 样品选择与数据来源:样品通过分子束外延(MBE)技术在n型(碲掺杂)GaSb衬底上生长。其结构包含:0.5微米厚的晶格匹配且未掺杂的AlAs0.08Sb0.92绝缘层,其上为0.01微米厚的未掺杂GaSb缓冲层,再之上是2微米厚的晶格匹配InAs0.91Sb0.09体材料层,目标p型铍掺杂浓度为2×101? cm?3。
3:5微米厚的晶格匹配且未掺杂的AlAs08Sb92绝缘层,其上为01微米厚的未掺杂GaSb缓冲层,再之上是2微米厚的晶格匹配InAs91Sb09体材料层,目标p型铍掺杂浓度为2×101? cm?3。
实验设备与材料清单:
3. 实验设备与材料清单:暗场变磁场霍尔测量在Lakeshore 9509霍尔测量系统(HMS)上进行,最大磁场强度为9特斯拉,测试电流为100微安。
4:实验步骤与操作流程:
将晶圆切割后,用柠檬酸溶液湿法蚀刻至不同厚度。采用标准光刻工艺定义出范德堡(VDP)构型的5毫米×5毫米方形台面。
5:数据分析方法:
通过迁移率谱分析(MSA)和多载流子拟合(MCF)分析数据,以识别结构中不同导电载流子群体及其各自的迁移率。
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