修车大队一品楼qm论坛51一品茶楼论坛,栖凤楼品茶全国楼凤app软件 ,栖凤阁全国论坛入口,广州百花丛bhc论坛杭州百花坊妃子阁

微纳米材料的新应用 || 用于制备忆阻器件的原子层沉积技术：前驱体对预沉积堆叠材料的影响

DOI：10.5772/intechopen.78937 出版年份：2018 更新时间：2025-09-23 15:21:21
摘要： 原子层沉积（ALD）是制备薄膜氧化物用于多种应用的标准技术。我们介绍了该技术并展示了其在获取忆阻器件中的应用。通过ALD生长的HfO2在高度掺杂的Si衬底上（其上覆盖有SiO2薄膜和Ti电极）沉积，制备了金属/绝缘体/金属堆叠结构。文中展示并讨论了器件性能的提升（无需形成过程、自限流特性、无交叉滞回电流-电压特征）。通过X射线反射仪、原子力显微镜和二次离子质谱对堆叠结构的细致分析揭示：实际器件堆叠顺序偏离预期（HfO2/Ti/SiO2/Si）。分析研究表明Ti层发生了氧化，这与HfO2 ALD过程中使用臭氧前驱体有关。新的沉积工艺及阻抗测量推导的模型支持我们的假设：臭氧对预先沉积的Ti层的作用决定了器件的整体特性。此外，这些经ALD定制的多功能器件展现出整流能力与足够长的保持时间，足以作为交叉阵列架构中的存储单元及多比特方案的应用材料，同时具备其他潜在应用前景。
作者： Cynthia P. Quinteros，Alex Hardtdegen，Mariano Barella，Federico Golmar，Félix Palumbo，Javier Curiale，Susanne Hoffmann-Eifert，Pablo Levy
AI智能分析
纠错
研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

研究前驱体对采用原子层沉积技术制备忆阻器件中预沉积堆叠材料的影响。

研究成果

原子层沉积（ALD）技术成功用于制备具有增强性能的HfO?基忆阻器件。研究表明，在ALD过程中使用臭氧作为氧化剂会导致Ti层氧化，形成额外的TiO?层，该层显著影响器件的电学特性。这一改进使器件呈现出无需成形的特性、自限流能力以及非交叉的滞后电流-电压特征，使其适用于非易失性存储应用。研究结果凸显了前驱体选择在ALD过程中的重要性及其对器件性能的影响。

研究不足

该研究强调了原子层沉积（ALD）前驱体与预沉积层之间的相互作用，这种作用可能导致器件堆叠中出现未预料到的相态和结构变化。不同前驱体的具体影响以及ALD工艺中进一步优化的需求被指出为未来研究的重点领域。

SCI高频之选
查看全部>
  • AQ6370D
    AQ6370D
    463

    型号：AQ6370D

    厂家：Yokogawa

    智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。
    获取实验方案
  • ZEISS EVO Family

    型号：ZEISS EVO Family

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。
    获取实验方案
  • Crossbeam Family

    型号：Crossbeam Family350/550

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。
    获取实验方案
  • Axio Observer

    型号：Axio Observer

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。
    获取实验方案
  • ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。
    获取实验方案
  • ZEISS Sigma 300 with RISE

    型号：ZEISS Sigma 300 with RISE

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。
    获取实验方案
立即咨询

加载中....

论文纠错

您正在对论文“微纳米材料的新应用 || 用于制备忆阻器件的原子层沉积技术：前驱体对预沉积堆叠材料的影响”进行纠错

纠错内容

联系方式（选填）

设备询价

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期

产品预约

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期