研究目的
开发一种针对尺寸为数毫米、精度达到亚像素或亚微米级的微结构进行三维（3D）测量的方法。
研究成果
实验结果表明，所提出的方法能够在毫米尺度上以亚像素（圆柱阵列最大1.40微米，对应0.40像素尺寸）甚至亚微米（网格阵列最大0.42微米，阶梯母模最大0.83微米）的测量精度获取微观结构的3D信息。
研究不足
测量误差主要源于圆柱阵列上的圆并非标准圆形，且圆心坐标提取存在一定偏差。各层级的误差分布相对均匀，但最大绝对误差不超过4.88微米。
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基于远心立体与散斑投影方法的显微三维测量技术
DOI：10.3390/s18113882
期刊：Sensors
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
微结构的三维测量日益重要，目前已发展出多种显微测量方法。但对于数毫米量级尺寸且要求亚像素或亚微米级精度的情况，目前几乎还没有有效的测量手段。本文提出一种结合显微立体测量与数字散斑投影的方法：搭建主要由两个远心相机和工业投影?？樽槌傻南晕⑹笛橄低?，并实施远心双目立体重建流程。首先通过对不同位置的网格阵列和不同高度差的圆柱阵列进行三维测量来验证测量精度，随后采用两把三丰千分尺标准块进一步验证。实验结果表明，该方法能在毫米尺度上以亚像素甚至亚微米级精度获取微结构的三维信息。
作者：
Kepeng Chen，Tielin Shi，Qiang Liu，Zirong Tang，Guanglan Liao
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