研究目的
研究化学气相沉积法沉积多孔硅中ZnO厚度层对其性能的影响。
研究成果
研究表明，采用化学气相沉积技术制备的ZnO/PSi薄膜随着ZnO层厚度增加，其结构和形貌特性得到改善。多孔硅衬底因其海绵状结构而提升了ZnO薄膜的结晶质量。
研究不足
该研究聚焦于氧化锌厚度对多孔硅特性的影响，但未探究沉积过程中温度或压力等其他变量的作用。
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《AIP会议论文集》[作者 国际创新材料科学应用会议：ICIMA-2018 - 印度泰米尔纳德邦（2018年9月27-28日）] - 化学气相沉积法制备多孔硅中氧化锌厚度层对其性能的影响
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《AIP会议论文集》[作者 国际创新材料科学应用会议：ICIMA-2018 - 印度泰米尔纳德邦（2018年9月27-28日）] - 化学气相沉积法制备多孔硅中氧化锌厚度层对其性能的影响
DOI：10.1063/1.5067352
出版年份：2018
更新时间：2025-09-10 09:29:36
摘要：
我们报道了采用电化学蚀刻（ECE）技术制备多孔硅，并通过化学气相沉积（CVD）在其表面生长氧化锌纳米颗粒层（P型）的相关特性。X射线衍射对晶体结构的研究表明，氧化锌薄膜对多孔硅的结构性能具有积极影响。此外，随着氧化锌层厚度增加，这些性能得到进一步提升?；谠恿ο晕⒕担ˋFM）和扫描电子显微镜（SEM）的测量，我们研究了ZnO/PSi的形貌特性。结果显示，随着氧化锌薄膜的晶体生长，多孔硅基板的结构稳定性得到改善。同时观察到，当多孔硅表面的氧化锌薄膜增厚时，其粗糙度（RMS）值也随之增大。所有结果表明，通过CVD技术制备的氧化锌薄膜具有良好的均匀性。最后可以明确，多孔硅基板能够为提升六方晶系氧化锌薄膜的结晶质量创造条件，这可能归因于多孔硅的海绵状结构特性。
作者：
Ghazwan Gh. Ali，Abdul Kahliq A. Sulaiman，Ivan B. Karomi
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