研究目的
研究某种特定草药对特定疾病的治疗效果。
研究成果
我们开发了一种新型且有前景的化学气相沉积(CVD)工艺,利用[Sn(DMP)4]和氧气制备SnO2薄膜。通过研究,我们深入了解了此前鲜少被探究的前驱体的热特性。RBS和XPS测量结果表明,在500 - 800 °C的宽温度范围内能够获得高纯度的SnO2薄膜。XRD和SEM分析显示,沉积薄膜具有纳米晶特性,其择优生长取向和晶粒尺寸随沉积温度而变化。对原始样品进行详细的XPS芯能级光谱解卷积分析,使我们深入了解表面化学成分,证实了氧空位的存在,并发现了化学吸附的氧离子,这表明其有作为化学传感器的潜在应用。我们对部分选定的样品进行了电阻率随温度变化行为的研究。在室温下,厚度为25 nm的SnO2薄膜的电阻率为1.25 × 10?4 Ω·m,在300 °C时降至3.12 × 10?5 Ω·m。在一个评估vdP、SEM、AFM和XRD测量综合结果的案例研究中,我们展示了表面形貌和粗糙度对CVD沉积SnO2薄膜电学性能的深远影响。在采用[Sn(DMP)4]的新开发CVD工艺中,能够很好地控制厚度和形貌来生长纳米晶、导电的SnO2薄膜,这促使我们在正在进行的工作中测试不同厚度的CVD生长的SnO2薄膜作为化学传感器,并评估其在不同传感器结构上针对不同目标气体的性能。
研究不足
实验的技术和应用限制,以及潜在的优化领域。