研究目的
研究不同注量200 MeV Ag15+离子辐照下WO3薄膜的结构、透射率、形貌及输运特性的变化。
研究成果
用200 MeV的Ag15+离子辐照会改变WO3薄膜的结构、光学和输运特性。在较低注量下薄膜会非晶化，在特定注量时出现再结晶现象。光学透明度降低，直接和间接带隙均发生红移。表面形貌显著改变，且电阻率随注量增加而降低。
研究不足
该研究仅限于200 MeV Ag15+离子束辐照对WO3薄膜的影响。研究结果可能无法直接适用于其他材料或辐照条件。
1：实验设计与方法选择：
采用不同注量200 MeV Ag15+离子束辐照喷雾沉积的WO3薄膜，通过XRD、拉曼光谱、紫外-可见光谱、原子力显微镜和霍尔效应测量分析其结构、光学及输运特性。
2：样品选择与数据来源：
在ITO镀膜玻璃衬底上采用喷雾热解法制备厚度89 nm的WO3薄膜。
3：实验设备与材料清单：
X'pert高分辨PANalytical X射线衍射仪、Renishaw拉曼系统、紫外-可见双光束分光光度计（日立U-3300）、原子力显微镜（SPI 3800 N）、Ecopia HMS 3000霍尔系统。
4：0）、原子力显微镜（SPI 3800 N）、Ecopia HMS 3000霍尔系统。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：在不同注量下辐照薄膜并表征其结构、光学及电学特性。
5：数据分析方法：
XRD用于结构分析，拉曼光谱分析振动模式，紫外-可见光谱测定光学特性，原子力显微镜观测表面形貌，霍尔效应测量输运特性。
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