研究目的
研究β-Ga2O3的气敏机理与传感特性，以应用于高温及恶劣环境。
研究成果
β-Ga2O3成为高温及恶劣环境下气体传感应用中极具前景的材料。该研究强调了表面原子构型与悬键密度对气体传感特性和欧姆接触行为的关键影响?；讦?Ga2O3单晶晶圆的铂肖特基二极管展现出作为高灵敏度氢传感器的巨大潜力。
研究不足
该研究的局限性在于β-Ga2O3的导热性逊色于其他宽禁带半导体。基于电容式Ga2O3气体传感器对目标气体的选择性也存在局限。
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氧化镓 || 基于Ga2O3的气体传感器
DOI：10.1016/B978-0-12-814521-0.00019-1
出版年份：2019
更新时间：2025-09-09 09:28:46
摘要：
β-Ga2O3因其宽带隙特性（4.9电子伏特）和高击穿电场等本征材料属性，近期在日盲深紫外探测器及高温高功率电子器件领域备受关注。该材料还能作为反应性氧化层，对多种气体（尤其在恶劣环境的高温条件下）具有高灵敏度。近期已有多篇关于β-Ga2O3基气体传感器的报道[1-20]。本章将综述β-Ga2O3的气敏机理与传感特性：首先解析其材料属性以阐明氧化物表面与不同气体分子的相互作用机制；研究β-Ga2O3晶体结构及(201)和(010)晶向表面的原子构型；探讨这两种晶向单晶的干/湿法刻蚀特性与金属接触性能，以拓展器件应用范围；通过分析最新β-Ga2O3基氢气传感器研究成果，对比(201)与(010)晶向单晶的氢敏特性差异，从而提升氢气检测效能。
作者：
Sunwoo Jung，Soohwan Jang，Kwang Hyeon Baik
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