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利用扫描电子显微镜中的阴极发光技术绘制"破碎"暗模图谱

DOI:10.1017/s1431927617008315 期刊:Microscopy and Microanalysis 出版年份:2017 更新时间:2025-09-09 09:28:46
摘要: 暗等离子体激元模式是指缺乏净偶极特性的模式,因此无法高效辐射。这类模式具有更窄的光谱线宽和更长的寿命,在传感及高Q值腔体等众多应用中颇具价值。聚焦的高能电子束可作为局域宽带激发源——高速电子产生的倏逝电场能在可极化材料中激发共振。向远场辐射的光可通过阴极荧光(CL)检测,或通过电子能量损失谱(EELS)测量电子的能量损耗。扫描电子显微镜(SEM)或扫描/透射电子显微镜(S/TEM)中这些技术的空间分辨率通常受限于倏逝场的空间范围(根据电子束能量约为10纳米量级),这使其成为绘制等离子体激元模式空间分布的理想手段。虽然暗模式的能量损耗可在EELS中检测到,但由于这些模式严格来说不具备辐射性,通常无法通过CL检测。然而由于结构固有或人为引入的不对称性,这些暗模式会获得净偶极共振并产生辐射。 我们采用30 keV电子束能量和500 pA束流(FEI Nova Nanosem),对电子束光刻制备的金纳米棒三聚体进行了高光谱阴极荧光测试。使用配备Andor Shamrock 303i光谱仪和Andor iVac光谱相机的Delmic SPARC系统采集CL信号。图中同时展示了对称三聚体与人为设置40度三聚体夹角不对称结构的SEM图像。这些三聚体呈现两种共振模式:高能对称模式和由两个简并偶极模式组成的低能模式。我们分别通过映射350-500 nm和600-700 nm波段的平均强度来定位这些模式。显然,对称性破缺的三聚体展现出涉及所有三根纳米棒的显著高能模式,而对称三聚体似乎也存在足够固有不对称性来显示该模式——这种固有不对称性在偶极共振分布图中同样可见。通过不对称性"破缺"的暗模式会获得偶极分量,从而能在CL中被检测和定位。利用CL进行高光谱成像,是理解纳米尺度缺陷对等离子体器件影响的有力方法。
作者: A. C. Y. Liu,D. E. Gómez,T. Coenen
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研究概述 实验方案 设备清单

利用扫描电子显微镜中的阴极发光技术研究"断裂"暗等离子体激元模式的探测与成像。

使用CL进行高光谱成像是检测和绘制因不对称性而获得偶极分量的"断裂"暗等离子体模式的有效方法。该技术为纳米尺度缺陷对等离子体器件的影响提供了重要见解。

阴极荧光(CL)和电子能量损失谱(EELS)技术的空间分辨率受限于倏逝场的空间范围,该范围根据电子束能量不同约为10纳米量级。阴极荧光中暗模式的检测取决于其因不对称性而获得净偶极共振。

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