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《AIP会议论文集》[作者:SolarPACES 2017:国际聚光太阳能与化学能源系统会议——智利圣地亚哥(2017年9月26-29日)] - 碳钛多层薄膜:合成与表征

DOI:10.1063/1.5078906 出版年份:2018 更新时间:2025-09-09 09:28:46
摘要: 采用热阴极真空电?。═VA)法在硅基底上制备了碳-钛(C-Ti)多层薄膜。涂层由低蒸发速率沉积的约100纳米碳基底层构成,随后在其上方交替沉积七组碳钛层,每层最终厚度达40纳米。本研究通过改变基底温度(0℃至300℃)和施加负偏压(0V至-700V)获得不同批次样品。利用透射电镜(TEM)、扫描电镜(SEM)、扫描透射电镜(STEM)及拉曼光谱技术表征了C-Ti多层结构的微观特性。摩擦学测量结果与Ti/C界面原子扩散过程相关。通过测量电阻随温度变化评估了导电性能。
作者: Victor Ciupin?,Cristian P. Lungu,Eugeniu Vasile,Gabriel C. Prodan,Corneliu Porosnicu,Rodica Vladoiu,Aurelia Mandes,Virginia Dinca,Virginia Nicolescu,Madalina Prodan,Radu Manu
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研究概述 实验方案 设备清单

采用TVA方法合成并表征纳米结构C-Ti多层膜,重点研究其力学、光学和电学性能。

该研究成功采用TVA法合成了C-Ti多层膜并完成表征。摩擦学测试表明摩擦系数随法向载荷增大而降低。拉曼光谱显示存在TiC、Ti3C2O2和Ti3C2相的混合。高分辨透射电镜图像证实了TiC和C的局部晶态组织存在。电学测量显示电导率随温度升高而降低,表明这些结构具有良好的隔热性能。

该研究的局限性在于所采用的TVA沉积方法的具体条件及所应用的表征技术。潜在的优化方向包括探索其他沉积方法和扩展表征技术的范围。

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