研究目的
开发一种简单、廉价且快速的方法，通过不锈钢的电化学腐蚀来制备用于电光器件的阴影掩模。
研究成果
一种通过不锈钢电化学腐蚀制备简易且具成本效益的阴影掩模的方法已成功开发，并应用于OLED器件生产中，显示出其在电光器件制造中的潜在应用价值。
研究不足
该方法的精度受限于光刻和电化学腐蚀工艺，可能无法达到更精密技术所能实现的同等细节水平。
1：实验设计与方法选择：
该方法通过不锈钢的电化学腐蚀来制作掩模版。
2：样品选择与数据来源：
使用302型不锈钢薄板。
3：实验设备与材料清单：
包括Keithley源表2410C、盐酸溶液和聚酰亚胺HD-4104。
4：0C、盐酸溶液和聚酰亚胺HD-4104。 实验步骤与操作流程：
4. 实验步骤与操作流程：过程包括清洁钢材、光刻转移图案、电化学腐蚀，最后去除聚酰亚胺层。
5：数据分析方法：
通过制作OLED器件并测量其开启电压和亮度来评估掩模版的性能。
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Keithley Source Meter
2410C
Keithley
To apply and control the electrical current during the electrochemical corrosion process.
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Agilent Semiconductor Device Analyser
B1500
Agilent
Used to obtain current versus potential (I-V) curves for the OLED devices.
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polyimide HD-4104
HD-4104
HD Microsystems
Used as a photoresist in the photolithography process to transfer the pattern and protect certain areas of the stainless steel.
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Electron Beam System
Edwards
Edwards
Used for the deposition of aluminum as the cathode material in the OLED device fabrication.
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Chroma Meter
CS-100A
Konica Minolta
Used for the optical characterization of the OLED devices by measuring luminance.
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