研究目的
研究阴极输出孔对空心阴极辉光放电及其更低工作压力的影响。
研究成果
空心阴极辉光放电可在工艺真空腔室中产生等离子体，该腔室通过阴极隔膜屏蔽溅射的阴极材料。在特定条件下，隔膜孔口处会形成双层结构，从而影响放电特性。在较低气压下，该双层结构可被高压加速间隙取代，从而在阴极内外产生密度相同的等离子体。
研究不足
该研究仅限于特定范围的气体压力（0.01至10帕），并聚焦于阴极输出孔径对放电特性的影响。研究结果可能不直接适用于其他类型的放电或不同压力范围。
1：实验设计与方法选择：
研究采用安装在工艺真空腔室上的圆柱形空心阴极作为放电阳极进行辉光放电，通过隔膜?；し诺绲壤胱犹迕馐芪廴?。在0.01至10帕的宽气体压力范围内研究放电特性。
2：01至10帕的宽气体压力范围内研究放电特性。 样本选择与数据来源：
2. 样本选择与数据来源：实验使用直径0.5米、高度0.4米的真空腔室，配备不同长度的空心阴极和可变孔径隔膜。
3：5米、高度4米的真空腔室，配备不同长度的空心阴极和可变孔径隔膜。 实验设备与材料清单：
3. 实验设备与材料清单：装置包含真空腔室、涡轮分子泵、旋转泵、空心阴极、可变孔径隔膜、放电电源及空间电位测量探针。
4：实验流程与操作步骤：
在约10帕气压下引燃放电，保持恒定放电电流并降低气压测量放电电压，观察并测量等离子体辉光与电位差。
5：数据分析方法：
分析隔膜孔面积、气压与放电特性（包括双电层形成及其对等离子体密度的影响）之间的关系。
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vacuum chamber
serves as the discharge anode and houses the experimental setup
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turbo-molecular pump
pumps the vacuum chamber
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rotary pump
pumps the vacuum chamber
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hollow cathode
serves as the cathode in the glow discharge experiment
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diaphragm
protects the discharge plasma from contamination with sputtered cathode material
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discharge power supplies
provides the necessary voltage and current for the glow discharge
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thermoemissive probes
measures the space potentials inside and outside the hollow cathode
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