研究目的
研究热蒸发法制备的铟掺杂As2Se3薄膜的结构和化学成分变化，重点关注激光照射下InAs纳米晶粒的形成。
研究成果
掺铟As2Se3薄膜中的铟含量呈随膜层深度增加而递减的梯度分布。拉曼光谱显示，在激光照射下通过光塑性诱导的材料混合促进了InAs纳米晶的形成。该研究为掺杂硫系玻璃的结构变化及潜在应用提供了见解。
研究不足
铟掺杂方法可能不适合获得均匀的铟掺杂As2Se3薄膜，尤其是对于较高铟含量而言，这是由于顶层会形成铟团簇且铟更倾向于与硒而非砷原子成键。
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掺铟As2Se3薄膜的拉曼与X射线光电子能谱研究
DOI：10.1016/j.apsusc.2018.12.097
期刊：Applied Surface Science
出版年份：2019
更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要：
通过热蒸发法制备了名义铟含量x高达7 at.%的非晶态In掺杂As2Se3薄膜。原子力显微镜研究表明，该薄膜结构均匀，表面粗糙度约为5 nm，明显高于类似工艺制备的未掺杂As2Se3薄膜。X射线光电子能谱(XPS)分析揭示了薄膜的化学组成特征。XPS数据显示，薄膜中铟含量随深度增加显著降低。对于x≥2 at.%的薄膜，在激光照射下的As2Se3:In薄膜拉曼光谱中出现了归属于InAs横向和纵向光学声子的拉曼特征峰，证实形成了InAs纳米晶粒。
作者：
Yuriy Azhniuk，Volodymyr Dzhagan，Dmytro Solonenko，Vasyl Loya，Iaroslav Grytsyshche，Vasyl Lopushansky，Alexander Gomonnai，Dietrich R.T. Zahn
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