修车大队一品楼qm论坛51一品茶楼论坛,栖凤楼品茶全国楼凤app软件 ,栖凤阁全国论坛入口,广州百花丛bhc论坛杭州百花坊妃子阁

?? 中文（中国） ▾

全卷对卷工艺有机晶体管中的自对准金属电极

DOI：10.3390/electronics5010002 期刊：Electronics 出版年份：2016 更新时间：2025-09-04 15:30:14
摘要： 我们仅采用连续卷对卷（R2R）技术，成功制备出具有自对准电极的有机底栅晶体管。这种自对准工艺可实现精确的<5微米层间套准精度——这在高速R2R环境中通常颇具挑战性，因为标准套准方法仅能实现毫米级精度，即便采用在线摄像头和自动卷材控制技术，最佳精度也仅能达到数十微米。改进后的套准精度能有效减小源/漏电极与栅极之间的重叠区域，这对降低寄生电容至关重要。整个工艺整合了蒸发镀膜、反向凹印、柔版印刷、剥离工艺、紫外曝光及显影等多种技术，并全部移植至连续R2R中试生产线。最终以卷对卷方式制备出总长约80米的器件，包含数千个晶体管。最后通过成本分析确定主要成本构成，并评估该工艺是否适用于有机晶体管的工业化生产。
作者： Marja Vilkman，Teemu Ruotsalainen，Kimmo Solehmainen，Elina Jansson，Johanna Hiitola-Kein?nen
AI智能分析
纠错
研究概述 实验方案 设备清单

研究目的

展示利用连续卷对卷技术制备具有自对准电极的有机底栅晶体管，并分析该工艺用于工业生产的可行性。

研究成果

利用金属栅极电极作为光刻掩模的自对准工艺可转移至连续卷对卷（R2R）生产流程，实现栅极与源/漏电极间低至2微米的重叠公差。这标志着柔性有机薄膜晶体管（OTFT）实现高产能、大规模生产的重要突破。成本分析表明，仅当年产量超过一百万件时，卷对卷生产工艺才能实现盈利。

研究不足

该工艺在窄间隙（25微米）情况下表现不一致，导致短路问题。随着沟道长度增加（60-70微米），良率有所提升。主要挑战在于确保栅极的连续窄线以及优化源/漏电极的剥离工艺。

SCI高频之选
查看全部>
  • AQ6370D
    AQ6370D
    463

    型号：AQ6370D

    厂家：Yokogawa

    智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。
    获取实验方案
  • ZEISS EVO Family

    型号：ZEISS EVO Family

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕?，适用于材料科学、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。
    获取实验方案
  • Crossbeam Family

    型号：Crossbeam Family350/550

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。
    获取实验方案
  • Axio Observer

    型号：Axio Observer

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。
    获取实验方案
  • ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。
    获取实验方案
  • ZEISS Sigma 300 with RISE

    型号：ZEISS Sigma 300 with RISE

    厂家：Carl Zeiss Microscopy GmbH

    智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。
    获取实验方案
立即咨询

加载中....

论文纠错

您正在对论文“全卷对卷工艺有机晶体管中的自对准金属电极”进行纠错

纠错内容

联系方式（选填）

设备询价

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期

产品预约

称呼

电话

+86

单位名称

用途

期望交货周期