研究目的
通过新型钕前驱体采用金属有机化学气相沉积法首次实现Nd2S3薄膜生长,并探索其功能应用潜力。
研究成果
该研究成功利用新型钕前驱体,通过金属有机化学气相沉积法首次实现了γ-Nd2S3薄膜的生长。这些薄膜展现出具有适合光电子应用的光学带隙的发光特性。该工艺为稀土硫化物材料的合成提供了一条可扩展的途径,且无需沉积后处理。
研究不足
该研究受稀土金属亲氧性的限制,可能导致氧化物或氧硫化物的形成。该工艺还需精确控制温度和前驱体反应活性以实现高纯度薄膜。
1:实验设计与方法选择:
本研究采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)技术,使用两种新型钕前驱体沉积Nd2S3薄膜。
2:样品选择与数据来源:
薄膜沉积于预清洁的Si(100)和熔融石英衬底上。
3:实验设备与材料清单:
MOCVD反应器、钕前驱体、单质硫、氮气载气。
4:实验步骤与操作流程:
薄膜生长温度范围为400°C至600°C,前驱体蒸发器温度设为120°C,硫源温度为110°C。
5:数据分析方法:
采用XRD、SEM、AFM、RBS/NRA、XPS、紫外-可见吸收光谱及光致发光光谱进行表征。
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