研究目的
研究激光能量密度对脉冲激光沉积法制备的Bi2O3薄膜光学、结构及表面粗糙度特性的影响。
研究成果
采用脉冲激光沉积法成功制备了Bi2O3薄膜,X射线衍射证实其具有多晶结构,原子力显微镜显示晶粒尺寸在33.48至131.64纳米间变化。光学带隙范围为1.7至2.9电子伏特,受激光能量密度影响。在7.8焦耳/平方厘米条件下可实现完全氧化的较优效果,但进一步研究可优化参数以获得更佳薄膜质量。
研究不足
该研究仅限于特定的激光能量密度范围及恒定的氧气压力和温度;在某些能量密度下观察到的不完全氧化可能影响薄膜纯度;晶粒尺寸和带隙变化可能受到未完全优化的实验条件影响。
1:实验设计与方法选择:
采用脉冲激光沉积(PLD)系统在石英基底上沉积Bi2O3薄膜,通过改变激光能量密度研究其对薄膜性能的影响。
2:样品与数据来源:
使用直径2.5厘米、厚度0.5厘米的纯铋金属靶材(纯度99.99%);基底经CH3COOH、HNO
3:5厘米、厚度5厘米的纯铋金属靶材(纯度99%);基底经CH3COOH、HNOHF和去离子水按
3、HF和去离子水按2:1:1:10比例配制的溶液超声清洗。
4:实验设备与材料清单:
Q开关Nd-YAG激光器(波长1.06微米,脉宽9纳秒)、PLD系统、超声清洗机及清洗用化学试剂。
5:06微米,脉宽9纳秒)、PLD系统、超声清洗机及清洗用化学试剂。 实验流程与操作步骤:
4. 实验流程与操作步骤:激光能量密度设置为1.8、3.8、5.8、7.8和9.8焦耳/平方厘米;氧气压强和基底温度分别恒定保持在100毫巴和423开尔文;通过X射线衍射分析晶体结构,原子力显微镜观察表面形貌,光学透射谱结合Tauc法估算带隙。
6:8和8焦耳/平方厘米;氧气压强和基底温度分别恒定保持在100毫巴和423开尔文;通过X射线衍射分析晶体结构,原子力显微镜观察表面形貌,光学透射谱结合Tauc法估算带隙。 数据分析方法:
5. 数据分析方法:通过XRD图谱进行物相鉴定;利用AFM测量晶粒尺寸;基于光学透射数据采用Tauc图法计算光学带隙。
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Nd-YAG laser
Q-switching, 1.06 μm, 9 nsec
Used as an ablation tool in the pulsed laser deposition system to prepare Bi2O3 thin films.
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Ultrasonic bath
Used to clean the quartz substrates before deposition.
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XRD
Used for structural analysis of the Bi2O3 films to identify phases and crystallinity.
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AFM
Used to study surface morphology and measure grain size of the films.
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