研究目的
研究微晶硅薄膜的相组成对工艺参数的依赖性。
研究成果
微晶硅薄膜的结晶度随衬底温度升高而增加，在2.5毫巴压力下达到峰值，随硅烷流量增加而降低，随放电功率增加而升高。氢气在结晶过程中起关键作用，这些发现为控制硅基多孔结构的结晶度提供了建议，并计划进一步研究其光致发光特性。
研究不足
该研究仅限于特定范围的工艺参数（例如温度最高180°C，压力最高3.5毫巴），可能未涵盖所有可能的条件；潜在的激光诱导结构变化虽已缓解但未完全消除；未来需进一步研究以应用于多孔硅结构。
首页
论文列表
[2018年IEEE电气工程与光子学国际会议（EExPolytech） - 俄罗斯圣彼得堡（2018.10.22-2018.10.23）] 2018年IEEE电气工程与光子学国际会议（EExPolytech） - 利用拉曼光谱研究硅结构的相组成与形貌以确定结晶度参数
中文（中国）
▾
[2018年IEEE电气工程与光子学国际会议（EExPolytech） - 俄罗斯圣彼得堡（2018.10.22-2018.10.23）] 2018年IEEE电气工程与光子学国际会议（EExPolytech） - 利用拉曼光谱研究硅结构的相组成与形貌以确定结晶度参数
DOI：10.1109/EExPolytech.2018.8564440
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 15:23:52
摘要：
本研究旨在探究微晶硅薄膜的相组成对工艺参数的依赖性。通过等离子体化学气相沉积法（PECVD）制备了微晶硅薄膜，并采用拉曼光谱分析了所得薄膜的相组成及其结晶度与结构之间的关联。结果表明：通过控制压力、放电功率和硅烷流量等关键工艺参数，可使结晶度参数达到50%-70%范围。基于实验数据，提出了调控结晶度参数的建议方案，该方案拟应用于硅基多孔结构的制备过程。
作者：
Veniamin Koshevoi，Alexander Mustafayev，Anton Belorus，Andrei Pastukhov，Vladimir Levitsky，Vyacheslav Moshnikov，Alexander Lenshin
AI智能分析
纠错
研究概述
实验方案
设备清单
SCI高频之选
查看全部>
-
智能分析： Yokogawa AQ6370D是一款性能卓越的光谱分析仪，适用于光通信领域以及光放大器（EDFA）的测量和评估。其高波长分辨率、精准度和宽动态范围使其成为实验室和工业环境中的理想选择。虽然设备体积较大且预热时间较长，但其丰富的接口和出色的显示屏设计弥补了这些不足，整体是一款值得推荐的光谱分析仪。获取实验方案
-
智能分析： ZEISS EVO系列是一款高性能?？榛璧缱酉晕⒕担视糜诓牧峡蒲?、生命科学及工业质量控制等领域。其先进的技术特性包括高分辨率、广泛加速电压范围和集成EDS系统。该产品操作直观，支持多用户环境，适合科学研究和工业应用。然而，价格信息缺失以及潜在的维护成本可能是其需要注意的方面。总体而言，ZEISS EVO系列表现优秀，值得推荐给专业用户。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Crossbeam系列是蔡司公司推出的一款高端光电分析设备，结合了场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）和聚焦离子束（FIB）的功能，适用于材料科学、纳米技术和半导体行业等多个领域。其高分辨率成像能力和自动化样品制备功能使其成为高通量分析的理想选择。此外，该设备支持多种检测器，具备强大的多功能性，是高精度研究和工业应用的利器。然而，由于其高端定位，设备成本较高且操作需要专业技能。总体而言，该设备表现卓越，为科学研究和工业应用提供了先进的解决方案。获取实验方案 -
智能分析： Axio Observer是一款专为金相学研究设计的倒置显微镜系统，以其高效的设计和蔡司知名的光学技术为特色。它能够快速、灵活地分析大量样品，并支持自动化操作，适用于多种应用场景，包括晶粒尺寸分析、非金属夹杂物检测等。然而，其重量较大且光源寿命较短，可能对使用者提出了额外的维护和空间管理需求。总体而言，这款产品在性能和可靠性方面表现出色，特别适合专业实验室使用。获取实验方案 -
型号：ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex
智能分析： ZEISS LSM 990 Spectral Multiplex是一款定位于高端科研机构的光谱成像系统，具有卓越的光谱分辨率和自动化功能，适用于复杂的生物、医学及材料科学实验。其高效的荧光标签分离能力和多功能自动化设计为用户提供了强大的实验支持。然而，高昂的价格和一定的学习曲线可能对中小型实验室构成挑战。总体而言，这是一款性能优越、适应性强的高端实验设备。获取实验方案 -
智能分析： ZEISS Sigma 300 with RISE是蔡司公司推出的一款高端光谱分析仪，集成了拉曼成像和扫描电子显微镜技术，能够提供高质量的化学和结构分析。其功能强大，支持多领域应用，但设备价格较高且操作学习曲线可能较陡。适用于科研机构和高端实验室，是材料科学和生命科学领域的理想选择。获取实验方案
立即咨询
加载中....
论文纠错
您正在对论文“[2018年IEEE电气工程与光子学国际会议（EExPolytech） - 俄罗斯圣彼得堡（2018.10.22-2018.10.23）] 2018年IEEE电气工程与光子学国际会议（EExPolytech） - 利用拉曼光谱研究硅结构的相组成与形貌以确定结晶度参数”进行纠错
纠错内容
联系方式（选填）
设备询价
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期
产品预约
称呼
电话
+86
单位名称
用途
期望交货周期