研究目的
通过将光力晶体腔与纳米机电系统（NEMS）集成，展示对光学谐振频率的静电调控与稳定化。
研究成果
将纳米机电执行器与光机械晶体集成，可实现光学共振的有效静电调谐与稳定化——实验证明波长偏移量超过四个腔线宽，并通过反馈控制提升了稳定性。该方法有助于光力学领域中的长期测量及多域相互作用研究。
研究不足
与其他NEMS/MEMS器件相比，调谐范围有限；调谐范围与机械频率之间存在权衡；制造差异会影响尺寸；光学耦合修改可能会降低机械品质因数。
1：实验设计与方法选择：
该研究将Si3N4槽模光力晶体腔与NEMS执行器集成，用于控制调谐梁的位移。采用有限元法（FEM）进行光学和机械行为的模拟设计与预测。
2：样品选择与数据来源：
器件制备于硅衬底上250 nm厚的化学计量比Si3N4薄膜，样品包含不同间隙尺寸和电极构型。
3：实验设备与材料清单：
设备包括980 nm外腔可调谐二极管激光器、光纤锥波导（FTW）、射频探针、矢量网络分析仪（VNA）、光电探测器、比例-积分-微分（PID）控制器、扫描电子显微镜（SEM）；材料包括Si3N4、带Cr粘附层的Au电极。
4：带Cr粘附层的Au电极。 实验流程与操作步骤：
4. 实验流程与操作步骤：制备工艺包含电子束光刻、剥离、反应离子刻蚀及KOH释放；室温下通过FTW耦合激光进行光学表征，施加直流/交流偏压至NEMS执行器并测量光学光谱与机械响应，采用PID控制器实现反馈控制。
5：数据分析方法：
通过洛伦兹拟合获取品质因数与共振频率，采用FEM模拟预测，结合理论拟合分析执行器行为。
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获取完整内容-
external cavity tunable diode laser
980 nm
Used for optical characterization by coupling light into the devices.
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fiber taper waveguide
FTW
Used for evanescent coupling of light into the optical cavity.
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RF probe
Used to apply driving signals to the NEMS actuators.
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vector network analyzer
VNA
Used for small-signal characterization by generating oscillating voltage signals and measuring responses.
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photodetector
Used to detect the optical signal output.
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PID controller
proportional-integral-derivative controller
Used for feedback control to lock the optical cavity resonance to the laser wavelength.
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scanning electron microscope
SEM
Used for imaging the fabricated devices.
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