镍掺杂氧化锌纳米棒阵列的制备及其在紫外光探测器中的应用特性研究

摘要： 本研究探究了不同镍（Ni）掺杂量氧化锌（ZnO）纳米棒（NRs）的结构形貌、晶格及光学特性。采用射频磁控溅射技术在康宁玻璃基底上生长100 nm ZnO籽晶层，并通过化学浴沉积法制备纳米棒阵列。EDX光谱检测显示样品镍浓度为1.06 at%。所有纳米棒均呈现六方纤锌矿结构并沿c轴择优生长?；诮鹗?半导体-金属（MSM）结构，通过光刻工艺制备了镍掺杂氧化锌（NZO）纳米棒紫外光电探测器（PDs），经500°C退火处理后获得优异性能并降低氧空位（~560 nm）。结果表明：NZO纳米棒对紫外PD应用具有卓越的光敏性，其上升/衰减时间快于纯ZnO。当施加3V偏压并采用380nm紫外光照时，不同镍含量（0、4和8 mM）ZnO PDs的灵敏度分别为71.45、393.04和238.75。