改进的光学波导微悬臂梁用于集成纳米机械传感器

摘要： 本文报道了一种具有高灵敏度的改进型光学波导微悬臂梁传感器。为提高灵敏度，通过延长输入波导，在输入波导与光学波导悬臂梁的连接处引入缓冲层以降低结点耦合损耗。针对不同悬臂梁厚度研究了缓冲层相关的光学损耗。当悬臂梁厚度为300纳米时，发现缓冲层的最佳长度为0.97微米。采用该结构后，光学损耗降低至约40%，最大灵敏度超过传统结构的两倍。