在预图案化基底上可控沉积尺寸选择的金属纳米团簇

摘要： 报道了一项在室温下将尺寸可控的铜纳米颗粒有序排列成阵列的研究。该方法通过周期性调控基底表面，实现尺寸筛选纳米颗粒（亦称纳米团簇）的定向沉积。研究采用与超高真空兼容的磁控溅射式气体聚集源结合四极质谱过滤器制备尺寸筛选的纳米团簇，同时利用低能斜入射离子束辐照诱导纳米尺度的表面调制（波纹）。通过高分辨扫描电子显微镜（HRSEM）和原子力显微镜（AFM）表征了沉积纳米团簇与基底的形貌特征，采用X射线光电子能谱分析了沉积纳米团簇的化学成分。研究发现尺寸筛选的金属纳米团簇会沿基底图案定向排列，其组织质量随沉积条件变化，而优化沉积角度以实现更好排列效果取决于基底的图案参数。