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单轴电磁MOEMS微镜的快速多目标优化策略
摘要: 微光机电系统(MOEMS)微镜是移动图像投影仪(超微型投影仪)的关键使能技术。低尺寸和低功耗是超微型投影仪的核心约束条件。本研究提出了一种硅基单轴电磁扭转微镜的快速优化方法。该器件通过外部永磁体提供所需磁场,驱动扭矩由镜板上的矩形多匝线圈微结构产生。多重要求关联着线圈电流、占用面积、工作频率、镜面悬臂长度及磁体尺寸等参数。仅需对磁场分布和机械行为作一般性假设,我们证明可完全解析描述该微镜的电磁与力学特性,从而使优化目标(包含镜体与磁体的组件尺寸及驱动电流)能表示为设计参数的闭式函数。随后采用标准多目标优化算法,可极快速评估各优化目标间的权衡关系并探索帕累托前沿。通过有限元法(FEM)仿真估算,模型假设导致的误差较精确解仅差百分之几。
关键词: 微光机电系统(MOEMS)、微镜、磁驱动、微型投影仪、微机电系统(MEMS)、多目标优化
更新于2025-09-23 15:21:01
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利用透镜振动实现激光投影应用中的散斑抑制
摘要: 本文提出并验证了一种利用振动透镜实现激光束扫描的紧凑型散斑抑制方法。实验测得532纳米二极管泵浦固体激光器(DPSS)和520纳米激光二极管(LD)的最大散斑抑制效率分别为75.6%和81.25%,采用本方法获得的最低散斑对比度分别为0.11(DPSS激光器)和0.06(LD)。该方法仅需极低功耗、低成本即可实现散斑抑制,且无需弯曲激光光路。通过优化透镜参数,该方案有望承受高功率激光,适用于高流明激光投影仪。所演示技术具有小型化特征,同时展现出显著的散斑抑制效果,在微型及超微型激光投影仪应用中具有散斑抑制潜力。
关键词: 微型投影仪、紧凑方法、激光显示、振动透镜、散斑抑制、迷你投影仪、低成本
更新于2025-09-23 15:19:57