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oe1(光电查) - 科学论文

36 条数据
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  • 利用激光退火技术在金属氧化物半导体电容器中低温制备高质量栅极绝缘层

    摘要： 本文报道了利用连续波蓝光激光器制备金属-氧化物-半导体场效应晶体管高质量栅氧化层的研究。通过在介质层与衬底之间插入薄锆金属层以增强激光吸收并减少界面层。激光辐照模拟显示，与无金属层的介质相比，插入金属层能使激光退火过程中的温度显著升高。采用1纳米厚锆金属层进行激光退火的电容器展现出优异的电学特性，包括高电容值、低漏电流、低固定电荷密度和低界面态密度?；谡庑┙峁袄豆饧す舛艿木糜攀疲眉际蹩晌枰臀鹿ひ盏牡テ傻扔τ锰峁┙饩龇桨?。

    关键词： 445纳米波长，氧化锆，清除效应，激光退火，蓝色，MOS电容，连续波，可见光激光

    更新于2025-11-14 17:28:48

  • 采用微波退火工艺的LaAlO?/ZrO?/IGZO薄膜晶体管电学特性研究

    摘要： 传统薄膜晶体管存在阈值电压高、亚阈值摆幅差以及工作电压高的问题。这些缺陷使得传统薄膜晶体管无法满足当今高性能、高分辨率、低温及节能的需求。由于微波退火具有优异的能量转换选择性和快速加热速率，有望取代传统炉式退火并应用于本研究。在保证非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜晶体管性能不降低的前提下，采用LaAlO3/ZrO2作为栅电极和栅介质层。通过调节微波退火的功率/时间，研究了其对a-IGZO薄膜晶体管电学特性的影响。

    关键词： 氧化锆，微波退火，非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管，铝酸镧

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 基于氧化石墨烯的氧化锆纳米复合材料，用于增强可见光驱动的光催化活性

    摘要： 在本研究中，通过共沉淀法合成了一种高效的可见光响应型氧化石墨烯基氧化锆纳米复合材料（GO-ZrO?）。采用XRD、FTIR、FE-SEM、EDS、TEM、TGA、PL、UV-DRS和BET比表面积分析对合成的光催化剂进行了表征。表征结果表明，ZrO?纳米颗粒在GO-ZrO?纳米复合材料中均匀分散，且GO与ZrO?纳米颗粒之间具有优异的协同性。通过可见光照射下降解水溶性有害染料罗丹明B和亚甲基蓝，评估了合成的GO-ZrO?纳米复合材料的光催化效率。在可见光照射105分钟后，观察到罗丹明B染料（初始浓度30 mg/L）的90%光催化降解率；而使用25 mg/100 ml剂量的GO-ZrO?纳米复合材料作为光催化剂，在短短60分钟内就实现了亚甲基蓝染料（初始浓度100 mg/L）99.23%的降解率。通过清除剂进行的机理研究表明，超氧自由基（O?·?）是参与有机染料光降解的最具反应活性的物种。合成的光催化剂GO-ZrO?纳米复合材料还表现出优异的热稳定性和可重复使用性。

    关键词： 亚甲基蓝、罗丹明B、光催化活性、氧化锆、氧化石墨烯、可见光、共沉淀法

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 间接修复材料及厚度对不同波长光传输的影响

    摘要： 目的：本研究旨在评估间接修复材料类型及厚度对宽带牙科光固化灯光线不同波长透射率的影响。方法：选取四种计算机辅助设计与制造（CAD/CAM）牙科间接修复材料：[RC]树脂/陶瓷混合材料（Lava Ultimate）、[FC]长石质陶瓷（VitaBlocs）以及两种氧化锆基陶瓷（[ZK]Katana和[ZL]Lava）。测量蓝光（WB，425-490nm）与紫光（WV，350-425nm）波长的总辐照度损失（TL）。制备15mm规格、不同厚度（0.5/1.0/1.5/2.0mm）的试件（n=5），使用等离子弧光固化灯（Arc Light-II）进行照射。通过连接分光辐射计（USB2000）与积分球（CTSM-LSM-60-SF）的光谱分析软件（Spectra Suite v5.1）评估TL随波长的变化。数据采用双因素方差分析及Tukey事后检验（α=0.05）进行统计学处理。结果：0.5mm间隔层导致的TL因材料不同介于50.5%-67.2%之间。所有材料的TL均随厚度增加而升高。FC的TL低于ZK。总体而言，WV的TL高于WB，且WV/WB比例随厚度增加而降低。结论：间接修复材料显著降低TL，该效应随厚度增加更为明显。WV的穿透性低于WB。

    关键词： 陶瓷，光聚合，辐照度，复合材料，氧化锆

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 锌锆复合材料ZnZr的合成与表征及其对酚类分子的光催化降解。ZrO?对碱式碳酸锌Zn?(OH)?(CO?)?的加成效应

    摘要： 背景：通过化学共沉淀与尿素热水解一步法制备了ZrO?/Zn?(OH)?(CO?)?复合材料，ZrO?添加量分别为5、8和10 mol%。样品经80°C干燥后，采用N?吸附-脱附等温线、XRD、SEM、DRS、UV-Vis、FTIR及XPS等技术进行表征。评估了材料在紫外光照射下对苯酚及多氯代酚类分子的光降解性能，通过研究?OH、?O??和h?自由基的生成/排除情况探讨了可能的作用机制。 结果：ZrO?的引入使Zn?(OH)?(CO?)?形成高光活性的复合材料，其中8 mol% ZrO?添加量的样品效率最高。光降解性能提升部分源于比表面积增大，主要归因于复合材料界面产生的局域态促进了电荷转移。XPS研究表明，ZrO?添加增加了氧空位数量，通过空穴直接攻击显著增强了有机分子的光降解。 结论：由于载体Zn?(OH)?(CO?)?具有低成本、高稳定性和零毒性特点，ZnZr复合体系可成为持久性有机污染物光降解的优秀替代方案。

    关键词： 氧化锆，水锌矿，苯酚-氯酚光降解，复合材料

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 对ZrO?和Al?O?添加至氟磷灰石激光熔覆复合涂层在Ti6Al4V合金上影响的对比研究

    摘要： 采用Nd:YAG激光熔覆系统在Ti6Al4V基体上制备了含20 wt%氧化钇（3 mol%）稳定的立方相氧化锆（c-ZrO2，3Y-TZP）或20 wt%氧化铝（a-Al2O3）的氟磷灰石复合涂层。对比研究了两种涂层的界面形貌、物相组成、显微硬度和生物性能。结果表明：氟磷灰石/Al2O3试样在涂层与过渡层界面处发生更显著的元素互扩散；熔覆过程中涂层中的ZrO2和Al2O3组分完全分解或发生相变，且氟磷灰石部分分解。两种试样的涂层均含有氟磷灰石、CaF2和CaTiO3相，其中氟磷灰石/ZrO2涂层还包含TTCP、CaO、CaZrO3和m-ZrO2（单斜相），而氟磷灰石/Al2O3涂层则含有β-TCP、CaAl2O4和u-Al2O3。氟磷灰石/ZrO2涂层平均显微硬度（1300 HV）比氟磷灰石/Al2O3涂层（1100 HV）高约200 HV。两种试样在模拟体液中浸泡3天后均生成致密类骨磷灰石，表明具有良好的体外生物活性。但在24小时体外生物相容性测试中，氟磷灰石/ZrO2试样比氟磷灰石/Al2O3试样表现出更好的成骨样骨肉瘤MG63细胞初始黏附与铺展能力。

    关键词： Ti6Al4V、生物活性、生物相容性、氧化铝、激光熔覆、氟磷灰石、氧化锆

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 《AIP会议论文集》[作者 第三届数学与科学当前进展国际研讨会（ISCPMS2017）论文集——印度尼西亚巴厘岛（2017年7月26-27日）] - 具有增强光催化水净化能力的新型Ag2O/ZrO2复合材料

    摘要： 本研究采用微波辅助法合成了不同Ag2O:ZrO2重量比的氧化银/二氧化锆（Ag2O/ZrO2）复合材料，通过光催化性能去除水溶液中的有机污染物。X射线衍射表征显示样品具有银（Ag）纳米颗粒的立方结构、氧化银（Ag2O）的立方结构和二氧化锆（ZrO2）的四方结构。较高的ZrO2负载量导致样品中银纳米颗粒含量增加。通过差示热分析（DTA）和热重分析（TGA）研究热性能，400°C的失重可归因于Ag2O向银纳米颗粒的相变及环境吸热。紫外-可见吸收光谱证实了银纳米颗粒表面等离子体共振的存在。光催化活性测试采用亚甲基蓝水溶液降解实验，在可见光照射下较高ZrO2负载量表现出更强的光催化活性，降解率约达83%。光催化性能提升源于电子-空穴复合的抑制作用。

    关键词： 氧化锆、氧化银、光催化

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • SiO?层改性提升ZrO?整体式气凝胶的结晶动力学与热稳定性

    摘要： 以ZrOCl2·8H2O为前驱体，1,2-环氧丙烷(PO)为凝胶剂，将ZrO2凝胶在正硅酸乙酯(TEOS)溶液中陈化，随后采用乙醇超临界流体干燥法合成了二氧化硅修饰的氧化锆气凝胶(ZSA)。通过对比纯氧化锆气凝胶，研究了高温煅烧过程中ZSA的结晶动力学和热稳定性。采用TG-DSC、N2吸附/脱附、SEM和TEM对制备样品进行表征。结果表明：由于SiO2层阻碍了ZrO2的增殖、成核和生长过程，ZSA的热稳定性得到显著提高。

    关键词： ZrO2（氧化锆）、热稳定性、气凝胶、SiO2（二氧化硅）、结晶动力学

    更新于2025-09-23 15:23:52

  • 电子辐照过程中极紫外金属氧化物纳米颗粒光刻胶释放气体的原位测量

    摘要： 在本研究中，我们制备了包含ZrO2纳米颗粒及三种配体（甲基丙烯酸MAA、异丁酸IBA和乙烯基苯甲酸VBA）的极紫外光刻金属抗蚀剂。通过分别混合各组分制备抗蚀剂，以评估极紫外光刻材料的放气情况。我们涂覆制备了ZrO2-MAA、ZrO2-IBA和ZrO2-VBA三种样品，并采用原位质谱法评估这些样品在2 keV电子辐照过程中的放气行为。质谱分析结果显示，可观察到光致产酸剂(PAG)特有的放气峰，各配体峰则分布在低质量区间。而所有样品的质谱中均未检测到ZrO2峰，由此推测ZrO2纳米颗粒在2 keV电子辐照过程中可能未发生蒸发。

    关键词： 配体、极紫外金属光刻胶、电子辐照、质谱分析、原位脱气测量、氧化锆

    更新于2025-09-23 15:22:29

  • 用于复杂氧化锆部件DLP 3D打印的丙烯酸酯基悬浮液的流变与固化行为

    摘要： 本研究展示了一种基于低成本立体光刻技术制备具有复杂形状和内部结构的氧化锆部件的可能性。陶瓷立体光刻的关键步骤之一是制备满足特定要求（如低粘度、高固含量及适当固化特性）的光固化浆料。研究人员针对不同丙烯酸单体与陶瓷填料的浆料开展了流变学与固化行为研究?；诘ス倌芡庞肴倌芡疟┧岬ヌ宓男屡浞秸瓜殖鲇乓炝鞅湫阅埽汉?5 wt.%氧化锆的单/三丙烯酸酯基浆料在30 s?1剪切速率下粘度为1.6 Pa·s。研究发现，采用3 mol.%氧化钇稳定的氧化锆比8 mol.%氧化钇稳定的氧化锆更利于浆料制备，因其具有更低比表面积和更高振实密度。实验表明，该悬浮液的固化深度适用于打印层厚50 μm的物件，且层间结合良好、表面光洁度佳。

    关键词： 陶瓷、数字光处理、增材制造、氧化锆、立体光刻

    更新于2025-09-23 15:22:29