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oe1(光电查) - 科学论文

3 条数据
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  • [IEEE 2019年第20届国际固态传感器、执行器与微系统会议暨Eurosensors XXXIII会议（TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII） - 德国柏林（2019年6月23日-27日）] 2019年第20届国际固态传感器、执行器与微系统会议暨Eurosensors XXXIII会议（TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXXIII） - 基于二硫化钼修饰激光刻划石墨烯的高灵敏度可靠应变传感器及其在可穿戴电子中的应用

    摘要： 我们提出了一种基于二硫化钼修饰激光刻划石墨烯（MDS-LSG）的高灵敏度、可靠应变传感器制备策略，适用于柔性可穿戴电子设备。通过CO?红外激光对商用聚酰亚胺（PI）薄膜上涂覆的多层二硫化钼进行激光减薄处理，形成了三维分级多孔石墨烯网络结构并修饰有二硫化钼，从而具备优异的电学性能。该技术利用石墨烯的高迁移率特性和二硫化钼的应变依赖特性，为高性能应变传感器的制备提供了一种快速、简便且可扩展的途径。所制备的传感器具有高灵敏度（应变系数GF约290）、宽工作范围、快速响应时间以及在7000次循环以上保持稳定性等特性。最终我们成功将该传感器应用于皮肤细微形变（手腕脉搏）及多种人体运动检测。

    关键词： 微小应变、激光刻划、二硫化钼修饰的激光刻划石墨烯（MDS-LSG）、应变传感器

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • [2019年IEEE第69届电子元件与技术会议（ECTC） - 美国内华达州拉斯维加斯（2019.5.28-2019.5.31）] 2019年IEEE第69届电子元件与技术会议（ECTC） - 超快激光划线：一种改进的金属与ILD刻蚀工艺

    摘要： 传统激光划片技术采用纳秒激光烧蚀金属和层间电介质（ILD）层，已被微电子封装行业广泛采纳为芯片切割分离工艺的黄金标准。随着器件尺寸与厚度的不断缩小，市场对高芯片质量或芯片断裂强度的需求日益增长。下一代激光划片工具正通过采用皮秒至飞秒级短脉宽超快激光来聚焦最小化热激光损伤的研发。本文报道了一种基于ESI与英特尔合作开发的飞秒超快激光平台的稳健超快激光划片工艺。这一首创设备及工艺显著提升了芯片断裂强度，并证明相比纳秒激光划片热影响区（HAZ）中出现的体硅开裂或空洞现象，其发生率大幅降低。此外，该超快激光平台通过机载监测功能实现对光束定位和划片深度的精准控制——这是实现最小必要划片深度而不牺牲硅完整性及加工时间的关键要素。最终形成一种温和的无涂层烧蚀工艺，使其较同类技术具有更低的拥有成本。本文将详细讨论划片质量特性、工艺控制及整体系统制造可行性。

    关键词： 飞秒，超快，激光刻划，烧蚀，激光开槽

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • 激光刻划还原氧化石墨烯作为染料敏化太阳能电池的对电极

    摘要： 还原氧化石墨烯（rGO）因可作为传统铂基对电极的低成本、地壳储量丰富的替代材料，在染料敏化太阳能电池（DSSCs）领域备受关注。近年来，直接激光写入技术作为一种成本低廉、高效省时且高分辨率的催化型rGO基电极制备方法正崭露头角。本研究通过商用LightScribe DVD刻录机在ITO/PEN基底上实验制备出激光刻写rGO，并将其用作DSSC对电极。扫描电镜（SEM）与拉曼光谱表征显示，激光刻写后的rGO薄膜呈现具有多层卷曲或倾斜石墨烯的粗糙结构。通过循环伏安法（CV）和电化学阻抗谱（EIS）分析进一步探究了其电催化活性与电荷转移特性。最终基于rGO对电极的DSSC在标准太阳光AM 1.5G照射下实现了2.07%的光电转换效率。本研究开发了一种简便且极具前景的激光刻写方法，为DSSC应用制备rGO基对电极材料提供了新途径。

    关键词： 染料敏化太阳能电池、激光刻划、还原氧化石墨烯、对电极

    更新于2025-09-12 10:27:22