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碳化硅环形抛光参数的实验优化
摘要： 机械加工表面质量对碳化硅基元件和器件的功能性具有重要影响。本研究首先基于普雷斯顿方程解析研究了环形抛光中运动的复杂耦合关系，该方程推导出了影响材料去除的关键参数。随后，我们系统开展了反应烧结碳化硅的环形抛光实验，探究所推导参数对抛光表面质量的影响，从而获得了实现反应烧结碳化硅超低表面粗糙度的优化抛光参数。
关键词： 碳化硅、抛光参数、环形抛光、普雷斯顿方程、表面粗糙度
更新于2025-09-23 15:21:21