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oe1(光电查) - 科学论文

27 条数据
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  • 基于区域强度传输方程的阶梯微结构三维轮廓测量

    摘要： 半导体行业面临的主要挑战之一是测量具有大台阶高度（>100微米）的物体三维轮廓以及纳米级表面形貌。本研究探索了一种名为"基于区域传输强度方程（R-TIE）"的新技术，可同时实现大台阶高度和局部纳米级分辨率的表面形貌测量。该技术的关键要素包括复合图像分割、传输强度方程（TIE）及智能成像系统。该成像系统采用电调谐透镜，在无需机械移动部件的情况下以大视场角高速记录不同焦平面位置的物体。系统中的TIE部分可对目标区域进行纳米级高度测量。我们通过实验测量不同台阶试样，论证了所提方法的基本原理与可行性。

    关键词： 强度传输方程，三维测量，相位恢复

    更新于2025-09-09 09:28:46

  • [2017年IEEE光子学最新进展研讨会(WRAP) - 海得拉巴(2017.12.18-2017.12.19)] 2017年IEEE光子学最新进展研讨会(WRAP) - 基于傅里叶叠层成像与平板扫描仪的高分辨率宽场显微技术

    摘要： 我们报道了利用可编程8×8 LED阵列和平板扫描仪开发高分辨率、宽视场显微镜的技术。通过依次点亮LED并采用傅里叶叠层成像算法分析，生成样品的高分辨率图像。

    关键词： 相位恢复、显微镜技术、计算成像

    更新于2025-09-09 09:28:46

  • 利用高斯包络门控的确定性相位恢复方法重建超短脉冲

    摘要： 提出了一种超短脉冲表征新方案，该方案利用双高斯门控脉冲的二次谐波系统，可在时域重建脉冲的复值包络。本方案将空间域相干衍射成像中的解析（非迭代）相位恢复方法应用于脉冲表征，因此仅需通过两个经高斯门控及其时移高斯门控调制的未知脉冲光谱，即可获取未知脉冲的频谱相位。计算机模拟实例表明该脉冲恢复方法具有鲁棒性。特别值得注意的是，当未知脉冲频谱在门控脉冲频带范围内具有平缓斜率时，采用源自脉冲自身副本的近似高斯门控进行未知脉冲重建同样有效。

    关键词： 超快测量、脉冲表征、相位恢复、超快光学

    更新于2025-09-09 09:28:46

  • 有源面反射器天线相位恢复中相位因子的优化

    摘要： 通过米塞尔算法利用两个远场幅度图样——一个为天线聚焦状态下的图样，另一个为天线离焦状态下的图样——可获得反射器表面的形变数据。对于具有主动表面的反射器天线，可通过调整面板获取更有效的相位因子来替代偏移副反射器的测量方式。相位因子的形状与尺寸对收敛解的精度具有重要影响。为提升米塞尔算法的性能，本研究提出了一种针对不同表面形变的相位因子优化方法：该方法先采用列文伯格-马夸尔特算法估算孔径分布，再运用粒子群优化算法对以泽尼克多项式参数化的相位因子进行优化。数值模拟表明，该方法是实现不同表面形变下适用相位因子的有效工具。使用优化后的相位因子时，米塞尔算法比传统算法具有更优的收敛性能。

    关键词： 米塞尔算法、粒子群优化、勒文伯格-马夸尔特算法、主动表面、相位恢复、反射面天线、泽尼克多项式

    更新于2025-09-09 09:28:46

  • 光学干涉测量 || 条纹分析的数字处理技术

    摘要： 为了恢复特定干涉测量装置中生成的条纹图案所编码的物体信息，需要采用数字图像处理技术。本文综述了主要的条纹分析技术，旨在为读者提供解读干涉图最基础的理论依据。相移干涉图、开环条纹图、横向剪切干涉图及其他类型干涉图均需通过特定流程来准确提取目标相位。文中描述了相关算法，并通过数值模拟与实际数据进行了验证测试。

    关键词： 边缘分析、相位解缠、相位恢复

    更新于2025-09-04 15:30:14

  • 基于深度学习的低光子计数相位恢复

    摘要： 成像系统在低光强下的性能会受到散粒噪声的影响，这种噪声会随着光源功率的降低而不断增强。在本信函中，我们通过实验展示了利用深度神经网络恢复弱光照射物体的方法，并证明其在等效信噪比条件下优于传统的Gerchberg-Saxton相位恢复算法。深度神经网络能够利用训练图像集中包含的先验信息来检测信噪比接近1的特征。我们将这一原理应用于相位恢复问题，结果表明：当照明光束中每个探测器像素平均仅接收一个光子时，仍能成功恢复物体最显著的特征。我们还发现，与使用原始强度测量值进行训练相比，通过使用物体的初始估计值来训练神经网络可以显著提升相位重建效果。

    关键词： 低光环境、相位恢复、散粒噪声、格奇伯格-萨克斯顿算法、深度神经网络

    更新于2025-09-04 15:30:14

  • [2018年IEEE国际计算摄影会议(ICCP) - 美国宾夕法尼亚州匹兹堡(2018.5.4-2018.5.6)] 2018年IEEE国际计算摄影会议(ICCP) - ADP：自动微分叠层成像技术

    摘要： 叠层成像是一种成像技术，旨在从一组衍射图样强度中重建物体的复值出射波前。作为亚30纳米成像领域最受欢迎的技术之一，叠层成像不受传统透镜成像技术的限制。通过迭代相位恢复算法，可以从采集的衍射图样中重建物体。长期以来，人们基于人工推导的更新规则提出了许多用于物体迭代重建的算法。本文采用自动微分框架来解决实际且复杂的叠层成像相位恢复问题，并展示了其在不同扫描技术中速度、精度、适应性和泛化能力方面的优势。

    关键词： 成像技术、叠层扫描显微术、自动微分、相位恢复、亚30纳米成像

    更新于2025-09-04 15:30:14