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对称GaAs/AlGaAs量子点的高温液滴外延生长
摘要： 我们介绍了一种基于控制GaAs(111)A表面液态镓纳米液滴砷化动力学的高温液滴外延工艺。通过采用高温环境实现液滴外延量子点的自组装，解决了该制备过程中材料缺陷这一关键问题——这些缺陷曾限制了液滴外延技术在单光子/纠缠光子源等量子光子学应用中的使用。我们确定了参数空间中能使量子点以目标发射波长和高度对称形态自组装，同时保持优异光学品质的区域，并对液滴砷化过程中的生长参数作用机制进行了理论探讨与建模。
关键词： 砷化镓/铝镓砷，量子光子学，砷化动力学，高温液滴外延，量子点
更新于2025-09-23 15:21:01
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利用原子力显微镜研究悬浮导电GaAs/AlGaAs纳米结构的弹性特性
摘要： 本文通过基于相对较厚的GaAs/AlGaAs悬空膜结构（其刚度显著超过原子力显微镜悬臂梁刚度）的实验研究，证实了采用原子力显微镜悬臂梁进行纳米压痕技术测定悬空半导体结构弹性特性的适用性——该结论得到了实验测得的不同测试点处相对刚度与绝对刚度值均与理论预测相符的验证。
关键词： 纳米机电系统、砷化镓/铝镓砷、原子力显微镜、悬浮纳米结构
更新于2025-09-23 16:14:49