研究目的
为了证明使用原子力显微镜悬臂梁的纳米压痕技术适用于研究悬浮GaAs/AlGaAs纳米结构的弹性特性，特别是当结构刚度超过原子力显微镜悬臂梁刚度的情况。
研究成果
采用原子力显微镜悬臂梁的纳米压痕技术能有效测量厚悬浮纳米结构的弹性特性，实验结果与理论预测高度吻合，证实了即使结构刚度超过悬臂梁刚度时该方法依然适用。
研究不足
该技术可能因实际纳米结构几何形状与理想化模型存在差异而产生误差，其精度受悬臂梁校准限制（误差最高可达10%）。对于刚度远小于悬臂梁的极薄薄膜，该方法不适用。
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利用原子力显微镜研究悬浮导电GaAs/AlGaAs纳米结构的弹性特性
DOI：10.3103/S8756699018050114
期刊：Optoelectronics, Instrumentation and Data Processing
出版年份：2018
更新时间：2025-09-23 16:14:49
摘要：
本文通过基于相对较厚的GaAs/AlGaAs悬空膜结构（其刚度显著超过原子力显微镜悬臂梁刚度）的实验研究，证实了采用原子力显微镜悬臂梁进行纳米压痕技术测定悬空半导体结构弹性特性的适用性——该结论得到了实验测得的不同测试点处相对刚度与绝对刚度值均与理论预测相符的验证。
作者：
E. Yu. Zhdanov，A. G. Pogosov，D. A. Pokhabov，M. V. Budantsev，A. S. Kozhukhov，A. K. Bakarov
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