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oe1(光电查) - 科学论文

5 条数据
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  • 采用硅烷和甲烷作为前驱体，在热丝化学气相沉积技术中腔室压力对硅薄膜结晶度和成分的影响

    摘要： 热丝化学气相沉积是一种多功能技术，与等离子体增强化学气相沉积（1-2 ?/秒）相比，它能以更高的沉积速率（约5-10 ?/秒）沉积a-Si:H和nc-Si薄膜。我们报道了通过在热/催化分解过程中向硅烷中添加甲烷，在极高沉积速率（≥40 ?/秒）下制备高度结晶的硅薄膜。在衬底温度为300°C、灯丝温度为2000°C的条件下，通过改变腔室压力（10-100 Pa）沉积了一系列薄膜。使用氢稀释硅烷（10%硅烷在氢气中）和纯甲烷作为前驱体，并保持气体流量比恒定为10。在较低压力（≤20 Pa）下制备的薄膜具有更高的结晶度且不含任何碳原子痕迹。当压力增加时，带隙从1.24 eV增加到1.63 eV。研究发现，腔室压力在决定这些薄膜的结晶度、无序度和组成方面起着关键作用。在氢稀释硅烷中添加甲烷提高了低压（≤20 Pa）下硅薄膜的沉积速率和结晶度。在压力超过20 Pa时，检测到碳原子的特征信号。当压力>100 Pa时，获得了SiC薄膜。

    关键词： 沉积速率，硅薄膜，结晶度，热丝化学气相沉积

    更新于2025-11-21 11:01:37

  • 采用人字形连续激光束扫描实现硅薄膜中的单晶粒生长

    摘要： 通过扫描由线性激光束经新型单侧道威棱镜形成的箭头形连续激光束，在二氧化硅基底上60纳米厚的硅薄膜中生长出一颗长度为450微米、宽度为5-6微米的单晶颗粒。该晶体在生长方向和法线方向均未呈现明显择优取向。其取向沿横向以0.47-0.51°/微米速率向前旋转，表明薄膜表面的晶格常数比底部大0.049-0.053%。

    关键词： 晶体取向、单面道威棱镜、单晶生长、V形连续波激光束、硅薄膜

    更新于2025-09-19 17:13:59

  • 非晶硅薄膜蓝光二极管激光退火的综合分析

    摘要： 低温多晶硅（LTPS）技术已被证实是一项重大突破，能为液晶显示器、有机发光二极管等高性能显示器件制备具有卓越迁移率的半导体薄膜。然而采用传统准分子激光源进行LTPS工艺成本高昂。本文通过系统分析蓝光二极管激光退火（BLA）作用下非晶硅薄膜（94纳米）的结晶机制及玻璃基板的热形变，发现该技术能在玻璃基板上形成横向尺寸超过4微米×10微米的高质量柱状晶体（经光学显微镜、扫描电镜和拉曼光谱验证）。研究通过数值建模量化了退火过程导致的永久形变，阐明了如何调控薄膜热传导对基板的影响。结果表明：在最佳扫描速度与激光功率条件下，获得的永久热形变深度与硅薄膜粗糙度相当。结合实验与数值模拟结果，本研究揭示了BLA过程中的物理机制，并为优化工艺参数提供了理论依据。

    关键词： 横向晶粒生长、玻璃变形、硅薄膜、低温多晶硅（LTPS）、蓝光二极管激光器

    更新于2025-09-12 10:27:22

  • [2017年IEEE第44届光伏专家会议（PVSC）- 华盛顿特区（2017.6.25-2017.6.30）] 2017年IEEE第44届光伏专家会议（PVSC）- 首次展示采用PECVD和激光划线技术制备的径向结硅纳米线太阳能微型组件

    摘要： 基于光电子学领域的最新进展，本文详细研究了基于硅薄膜的微型?？樘裟艿绯氐闹票赣氡碚鳌Ｑ芯恐氐憧⒘艘恢中滦偷壤胱犹甯ㄖ粱际跻蕴岣咛裟艿绯匦?。实验结果表明，在标准测试条件下能量转换效率显著提升，最高可达20%。这一进步归因于优化的沉积参数及新型减反射涂层的引入。

    关键词： 光电子学、太阳能电池、减反射涂层、等离子体辅助沉积、硅薄膜

    更新于2025-09-11 14:15:04

  • 伽马辐照对纳米晶硅太阳能电池双势垒结构光电性能的影响

    摘要： 将a-Si1-xGex:H（x=0÷1）非晶硅锗合金薄膜的等离子体化学气相沉积技术（未掺杂及掺杂PH3和B2H6）应用于pin结构太阳能电池的可能性研究。通过氢含量测定薄膜的光学、电学及光电特性，发现薄膜性能强烈依赖于组分构成与氢化程度。通过改变气体混合比例调控薄膜中氢原子数量，并测量了a-Si:H与a-Ge:H红外吸收谱。

    关键词： 载流子收集系数，双势垒结构分析法，硅薄膜，光生电流光生载流子

    更新于2025-09-11 14:15:04