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oe1(光电查) - 科学论文

3 条数据
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  • 通过原位电阻、X射线衍射和扫描电子显微镜研究揭示的薄层Ge<sub>15</sub>Te<sub>85</sub>薄膜的温度依赖性结构演变与结晶特性

    摘要： 基于硫系化合物的Ge15Te85薄膜近期被探索用于垂直堆叠交叉点存储器的双向阈值开关(OTS)选择器器件。尽管学界对其结晶动力学和阈值开关特性已有合理认知，但高温下的结构稳定性和形貌特征仍是关键挑战。本文研究了室温至325°C范围内非晶态Ge15Te85薄膜的热稳定性、表面形貌及局域结构。实验结果表明：加热过程中，非晶态退化始于120°C时Te原子的局部偏聚，随后Te在约220°C、GeTe在约263°C发生结晶（该结论通过电阻温度依赖性测量、X射线衍射及扫描电镜研究共同证实）。此外，这些薄膜的结晶区域呈现细晶粒形貌，清晰区分了Te与GeTe微结构的结晶偏聚特征。这些发现通过形貌证据深化了对多相结晶过程的理解，将有助于优化双向阈值开关(OTS)选择器应用的材料体系。

    关键词： 硫系化合物薄膜、相变材料、OTS选择器、扫描电子显微镜、Ge15Te85

    更新于2025-09-19 17:13:59

  • Ge9As9Se82和Ge16As24Se60薄膜对电子束辐照的敏感性评估

    摘要： 研究了Ge9As9Se82和Ge16As24Se60非晶硫系化合物薄膜与电子束的相互作用。测定了两种薄膜成分的表面浮雕形成动力学。研究发现，在相同电子束辐照参数下，浮雕形成动力学与电荷积累速率、薄膜内部最终电荷值以及电荷从电子作用区域的扩散相关。采用电荷模型解释了电子束与所研究体系相互作用过程中的各种现象，并确定了该模型的参数?；菇樯芰怂芯刻逑翟诘ゲ降缱邮饪讨械挠τ?。

    关键词： 表面电位、电子束辐照、硫系化合物薄膜、锗砷硒

    更新于2025-09-10 09:29:36

  • [IEEE 2018年第20届透明光网络国际会议(ICTON) - 布加勒斯特(2018年7月1日-2018年7月5日)] 2018年第20届透明光网络国际会议(ICTON) - 基于As-Se-Te硫系化合物体系的高品质相变材料等离子体制备

    摘要： 已证明等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法在制备基于As-Se-Te硫系三元体系的高品质相变材料方面具有卓越性。样品通过砷、硒和碲蒸汽在低压低温非平衡射频（40 MHz）等离子体放电中的直接相互作用合成。在广泛的成分范围内制备了具有高度结构和化学均匀性的非晶薄膜，特别是化学成分超出了玻璃形成区域。

    关键词： 等离子体增强化学气相沉积、硫系化合物薄膜、相变材料

    更新于2025-09-09 09:28:46