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纳米电子学与材料发展 || 外延Cu3Ge薄膜：制备、结构与性能
摘要： 本文对外延生长Cu3Ge薄膜的制备及其电学特性进行了表征。通过调节沉积参数，提高了原位生长Cu3Ge薄膜的结晶度，并在其中形成了孪晶结构。测得外延Cu3Ge薄膜的平均功函数约为4.47±0.02 eV，使其成为互补金属氧化物半导体（CMOS）器件中理想的中带隙栅极金属。本研究因此展示了一种具有应用前景的外延Cu3Ge薄膜。
关键词： 蓝宝石、半导体金属化、Cu3Ge薄膜、脉冲激光沉积、孪晶
更新于2025-09-09 09:28:46
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基于WO?-1wt%In?O?-1wt%Nb?O?的氮氧化物检测器：具有最先进选择性与ppb级灵敏度
摘要： 快速、灵敏且精准地检测一氧化氮（NO）对环境监测及通过呼吸测试进行早期疾病诊断等诸多应用至关重要。有效的检测系统需要能检测十亿分之一（ppb）级NO气体的传感器，且该系统应具备高度抗干扰选择性。为实现这些目标，我们成功制备了一系列基于本征WO?、单添加剂掺杂WO?（通过掺杂In?O?或Nb?O?制得）以及双添加剂掺杂WO?（通过掺杂In?O?和Nb?O?合成）的氧化物气体传感薄膜。通过分析气体传感器的灵敏度、选择性、响应度和恢复时间等特性，我们发现WO?-1wt%In?O?-1wt%Nb?O?相比本征WO?、WO?-In?O?和WO?-Nb?O?具有压倒性优势。当NO浓度低至20 ppb时，WO?-1wt%In?O?-1wt%Nb?O?传感器的传感响应值达到2.4。在70°C下，该传感器对100 ppb NO气体实现了高达56.1的响应值，这在低工作温度条件下是NO检测的前沿性能表现。WO?-1wt%In?O?-1wt%Nb?O?在选择性和稳定性方面也较本征WO?、WO?-In?O?和WO?-Nb?O?有显著提升。对传感机制的研究表明，晶粒尺寸而非n-n异质结构效应是观测结果的主导因素。通过减小晶粒尺寸使其接近空间电荷层厚度，可增强传感响应。尽管仍有进一步改善传感性能的空间，但WO?-1wt%In?O?-1wt%Nb?O?的性能已足以应用于低含量NO检测设备。
关键词： 共掺杂、高选择性、一氧化氮气体传感器、检测限（LOD）、ppb级响应、脉冲激光沉积（PLD）
更新于2025-09-09 09:28:46
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由p型超纳米晶金刚石薄膜和n型硅衬底构成的异质结二极管参数
摘要： 在本研究中，通过脉冲激光沉积法制备了由p型超纳米晶金刚石/氢化非晶碳复合膜（UNCD/a-C:H）与n型硅衬底构成的异质结。为通过热电子发射（TE）理论和Norde模型提取其结区参数，在300至60K的不同温度下测量了暗态电流密度-电压曲线。根据TE理论，300K和60K时的理想因子值分别为2.70和8.66，这表明在300K时除隧道效应外，结界面还存在显著的复合过程，而低温下隧道效应占主导地位。300K和60K时的势垒高度值分别为0.78eV和0.18eV，串联电阻（Rs）值分别为275.24Ω和78.66kΩ。低温下Rs的增大可能源于B掺杂UNCD/a-C:H膜中载流子浓度随温度降低而减少。
关键词： PLD（脉冲激光沉积）、薄膜、UNCD/a-C:H（超纳米晶金刚石/非晶碳氢）、异质结、结参数
更新于2025-09-09 09:28:46
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磁场中定向纳米线的PLD制备
摘要： 本文报道了关于磁场辅助制备磁性纳米颗粒定向纳米线的实验研究。通过施加磁场环境下的脉冲激光沉积技术实现了纳米线的制备。外磁场的应用促使形成长度达数微米的纳米线，其取向受磁场线方向影响。研究考察了环境气体类型及其压力对沉积样品形貌和相组成的影响，发现环境气体直接影响纳米线的取向程度和相组成。对不同靶-基距沉积样品的SEM分析表明，纳米线密度随距离增加而降低。同时报道了所制纳米线磁性能的初步结果。
关键词： 磁场，氧化铁，纳米线，脉冲激光沉积
更新于2025-09-09 09:28:46