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24.4：采用光屏蔽金属设计的高性能顶栅自对准共面非晶铟镓锌氧化物薄膜晶体管（a-IGZO TFTs）
摘要： 本文展示并比较了采用不同遮光金属(SM)层设计的TG-SA a-IGZO薄膜晶体管。通过测量其电学特性系统分析了遮光金属产生的影响，系统研究了器件不稳定性与不同遮光金属设计之间的关系。随后成功制备出采用TG-SA a-IGZO TFT背板的14英寸高性能OLED显示原型，显示出优异的量产前景。
关键词： 可靠性、遮光金属、顶栅自对准共面结构、a-IGZO薄膜晶体管
更新于2025-09-23 15:23:52