P-13.8：钝化孔刻蚀对底部发光AMOLED显示器中ITO与金属接触的影响

摘要： 本文展示了一种带有白色OLED和彩色滤光片顶栅自对准非晶铟镓锌氧化物（a-IGZO）薄膜晶体管背板。研究了三种标记为案例1~3的光刻胶（钝化）孔蚀刻顺序，以验证ITO与源极/漏极电极之间的接触情况。对于案例3，在PLN图案化后进行光刻胶孔蚀刻工艺，显示出光滑的金属表面和优异的面板性能。相比之下，其他两种案例由于钝化膜沉积不均匀导致源极和漏极金属腐蚀，从而造成ITO与S/D金属接触不良以及面板性能不佳。