脉冲激光沉积法制备的铁掺杂WO3薄膜的结构、形貌及光学特性

摘要： 在14.66 Pa氧压下，通过脉冲激光沉积法制备了不同衬底温度的铁掺杂氧化钨(Fe和WO3)薄膜，获得了具有不同形貌和晶体结构的样品。研究了衬底温度对薄膜表面形貌及晶相的影响。X射线衍射分析表明，根据退火和原位生长条件，晶相从γ-单斜相转变为γ-单斜相与六方相的混合相。扫描电子显微镜显示，原位生长和退火处理后的薄膜表面形貌从纳米针状结构逐步转变为纳米多孔结构，进而形成长纳米线与宽纳米带。能量色散X射线光谱分析了铁掺杂氧化钨薄膜原位生长及退火处理后的元素组成。拉曼光谱呈现了铁掺杂氧化钨薄膜的主要振动模式。随着衬底温度升高，薄膜的光学带隙逐渐减小。