研究目的
研究通过脉冲激光沉积（PLD）法制备的掺铁三氧化钨薄膜的结构、形貌及光学特性，以探索其在气体传感器中的潜在应用。
研究成果
研究表明，衬底温度和退火条件显著影响掺铁三氧化钨薄膜的结构、形貌及光学特性。这些发现对于优化气体传感应用中的薄膜性能至关重要。
研究不足
该研究仅限于基底温度和退火处理对掺铁三氧化钨薄膜的影响。这些薄膜在气体传感器中的应用可行性仍需进一步研究。
1：实验设计与方法选择
采用YAG:Nd激光器通过脉冲激光沉积(PLD)技术在硅衬底上制备了铁掺杂三氧化钨(WO3)薄膜，研究了衬底温度对薄膜性能的影响。
2：样品选择与数据来源
在不同衬底温度下制备样品，并通过多种退火条件处理以研究其结构与形貌特性。
3：实验设备与材料清单
用于PLD的YAG:Nd激光器、硅衬底、WO3和Fe靶材、退火气氛用氧气。
4：实验流程与操作步骤
在指定温度和压力下沉积薄膜，随后进行退火处理。采用XRD、SEM、EDX、拉曼光谱和光学测量进行表征。
5：数据分析方法
XRD分析晶体结构，SEM观察形貌，EDX测定元素组成，拉曼光谱分析振动模式，光学测量确定带隙。
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X-ray diffraction system
Szimadzu 6000
Szimadzu
Used for analyzing the crystalline structure of the films.
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Spectrophotometer
Analytik Jena Specord 210 plus
Analytik-Jena AG
Used for measuring the optical properties of the films.
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YAG:Nd laser
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Hitachi
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