研究目的
通过在基于InGaN的激光二极管上集成40阶DFB表面光栅，在室温连续波注入条件下，实现了波长为513.85纳米、线宽31皮米、边模抑制比36.9分贝的窄线宽绿色激光发射。
研究成果
通过聚焦离子束无掩?？淌醇际?，将40阶DFB表面光栅集成于InGaN基激光二极管，在绿光波段实现了14毫瓦的窄线宽发射，其半高全宽为31皮米，边模抑制比达36.9分贝。这为未来单波长绿光激光二极管的发展铺平了道路。
研究不足
该器件的光学性能受到影响，光功率和效率均有所下降。通过未来对制造参数的详细优化，有望实现改进。
1：实验设计与方法选择：
通过聚焦离子束在多模InGaN基绿光激光二极管上制备了高阶（40阶）分布反馈表面光栅。
2：样品选择与数据来源：
采用带有法布里-珀罗（FP）脊形波导的绿光激光二极管（欧司朗PLP520）。
3：实验设备与材料清单：
聚焦离子束（FEI Helios NanoLab 650）、Keithley 2520系统、硅光电探测器、积分球（Labsphere）、热电制冷器（TEC）及TEC控制器（Thorlabs ITC 4005）、高分辨率光谱分析仪（横河AQ6370B）。
4：0）、Keithley 2520系统、硅光电探测器、积分球（Labsphere）、热电制冷器（TEC）及TEC控制器（Thorlabs ITC 4005）、高分辨率光谱分析仪（横河AQ6370B）。 实验步骤与操作流程：
4. 实验步骤与操作流程：在激光二极管上制备DFB光栅，并在连续波电流注入下进行电光特性表征。
5：数据分析方法：
通过分析光谱发射来确定DFB光栅的有效性。
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Focused ion beam
FEI Helios NanoLab 650
FEI
Fabrication of the DFB grating on the LD
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Keithley 2520 system
2520
Keithley
Electro-optical characterization
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